표제지
Abstract
요약
목차
제1장 서론 8
제2장 실험방법 9
2.1. 실험 순서 9
2.2. 측정 장치 10
제3장 결과 및 고찰 11
3.1. ZrN 박막의 표면 조직 11
3.2. ZrN 박막의 단면 조직 및 E.D.S 측정 12
3.3. ZrN 박막의 접합성 15
3.4. 질소 분압 비에 따른 미소경도 16
제4장 결론 18
참고문헌 19
Fig.1. N₂ 분압에 따른 ZrN 증착 층의 표면 조직 12
Fig.2. N₂ 1600 sccm분압에 따른 Zr/ZrN 증착 층의 단면 두께 측정값 13
Fig.3. N₂ 1600 sccm분압에 따른 ZrN 박막의 표면 이미지 및 E.D.S 성분 14
Fig.4. N₂ 1600 sccm분압에 따른 Zr/ZrN 증착 층의 임계하중(N)값 15
Fig.5. N₂ 분압에 따른 미소 경도 값 17