표제지
Abstract
요약
목차
1. 서론 8
1.1. 연구배경 및 목적 8
1.2. M-jet(혼합형 분사기) 관련 연구 동향 9
2. 이론적 배경 11
2.1. 분무의 형성과 구조 11
2.1.1. 분열길이 (Break-up length) 12
2.1.2. 분무각 (Spray angle) 12
2.1.3. 분무 도달거리 (Spray range) 13
2.2. 액체의 미립화 14
2.2.1. 평균 직경 (Mean diameter) 14
2.2.2. 대표 직경 (Representative diameter) 16
2.2.3. 분무의 액적크기 분포함수 18
2.2.4. 균일도(Uniformity) 21
2.3. 기체주입 노즐 23
2.3.1. 2상 유동 23
2.3.2. 기체주입 노즐의 특징 25
2.3.3. 기체주입 노즐의 분무특성 26
3. OLED 세정기의 개선 설계 27
3.1. Slit형 M-jet 메커니즘 27
3.1.1. M-Jet Chamber 구성 27
3.1.2. Slit형 M-Jet의 세정 현상 28
3.2. M-jet 설치 세정기(Cleaner) 모델링 29
3.3. M-jet 적용 세정기(Cleaner) 작동 방식 31
4. 실험방법 32
4.1. 타력측정 32
4.1.1. 타력측정 시스템 및 타력측정 32
4.1.2. 타력측정 결과 33
4.2. 소음 측정 34
4.2.1. 소음측정 방법 34
4.2.2. 소음측정 결과 34
4.3. 정전기 측정 35
4.3.1. 정전기 측정 방법 35
4.3.2. 정전기 측정 결과 35
4.4. Uniformity Test 36
4.4.1. Uniformity Test 방법 36
4.4.2. Uniformity Test 분사형태 및 결과 37
5. 결론 38
참고문헌 39