정전분무 열분해법을 이용하여 유리 기판위에 코팅한 산화주석(SnO₂) 박막을 각각 다른 열분해 온도로 처리하여 제조하였다. 코팅이 완료된 박막은 150 ℃, 250 ℃ 및 400 ℃에서 30분간 전열처리 하였고, 500 ℃의 아르곤 분위기에서 30분간 후열처리 하여 완성하였다.
박막의 결정구조 표면 미세구조는 X-선 회절분석 θ-2θ스캔(CuKα)과 전계방사 주사형 전자 현미경을 이용하여 각각 분석하였다. 토포로지와 표면 거칠기 분석을 위하여 주사형 탐침 현미경을 사용하였고, 자외선-가시광선 분광계를 이용하여 가시영역에서 박막의 투과율을 측정하였다.
제조된 투명 SnO₂ 박막은 루타일형 구조의 정방정계의 나노결정을 함유하고 있었으며, 박막의 미세구조 및 4-point probe로 측정한 전기적 특성은 전열처리 온도변화에 강한 의존성을 나타냈다.