표제지
목차
국문초록 9
I. 서론 10
II. 이론적 배경 12
1. 투명 전도성 산화막(TCO, Transparent Conductive Oxide films) 12
2. Tin Oxide(SnO₂)의 특성 14
3. 정전 분무 코팅 이론 16
III. 실험 방법 18
1. 코팅 용액의 제조 18
2. 박막의 제조 18
3. 박막의 특성 평가 21
가. 코팅용액의 Thermal behavior 21
나. 박막의 Crystal structure 21
다. 박막의 Surface morphology 21
라. 박막의 Topology and surface roughness 21
마. 박막의 Transmittance at visible spectral range 22
바. 박막의 Electrical properties 22
IV. 실험 결과 및 고찰 23
1. 코팅용액의 Thermal behavior 23
2. 박막의 Crystal structure 25
3. 박막의 Surface morphology 27
4. 박막의 Topology and surface roughness 27
5. 박막의 Transmittance at visible spectral range 29
6. 박막의 Electrical properties 31
V. 결론 33
References 34
ABSTRACT 38
Table 1. TCO 소재 13
Table 2. Resistivity, carrier concentration and mobility of the SnO₂ films as a function of... 32
Fig. 1. Principle of Electrostatic spray deposition of PVDF solution. 17
Fig. 2. Electrostatic spray system used in this work. 20
Fig. 3. TGA curve of the precursor. 24
Fig. 4. XRD patterns of finally annealed SnO₂ filmd as a function of pyrolysis temperatures. 26
Fig. 5. FE-SEM and SPM images of the finally annealed SnO₂ thin films pyrolyzed at 150... 28
Fig. 6. Transmittance in visible spectra range of the SnO₂ films pyrolyzed at 150 ℃ and... 30