SiC 소재는 열에 강하고 기계적, 내 화학적 특성, 전기적 특성, 내식성 등이 공정용 장비에 사용되어지고 있는 소재들보다 다방면으로 우수하여 여러 방면의 반도체 공정에 사용이 되어지고 있다. 그러한 상황에 발맞추어 다양한 제조기술을 적용하여 개발이 되고 있는데, SiC 소재는 제조기술에서 가공조건에 이르기까지 많은 연구가 진행되고 있다.
SiC 소재는 물성이 상대적으로 안정되고, 내식성 및 내 화학적 특성이 뛰어나고, 경도 및 강도가 높아 Al₂O₃ 소재에 비하여 가공의 어려운 단점을 가지고 있다.
본 연구에서는 Al₂O₃와 SiC 소재의 연삭 가공 시 일어나는 가공 특성, Al₂O₃와 SiC 소재의 표면특성에 대한 연구를 수행하였다.