표제지
Abstract
요약
목차
기호설명[내용누락;p.iv] 11
제1장 서론 12
1.1. 연구배경 12
제2장 실험장치 및 방법 14
2.1. 실험장치 14
2.2. 실험방법 27
제3장 실험결과 및 고찰 30
3.1. 연삭저항력 30
3.2. 표면거칠기 34
3.3. 표면가공상태 36
제4장 결론 39
참고문헌 41
[표 2.1] Spec of YGS-1360SCZ 15
[표 2.2] Spec of piezoelectric tool dynamometer 17
[표 2.3] Spec of multichannel charge amplifier 18
[표 2.4] Spec of Analog-digital converter 19
[표 2.5] Spec of surface roughness measuring equipment 22
[표 2.6] Diamond grinding wheel 23
[표 2.7] Mechanical properties of SiC 25
[표 2.8] Mechanical properties of Al₂O₃ 26
[표 2.9] Experimental conditions of Al₂O₃ & SiC 28
[표 2.10] Experimental Conditions 29
[그림 1.1] Materials change of display and semiconductor parts 13
[그림 2.1] Horizontal grinding machine 14
[그림 2.2] Piezoelectric tool dynamometer 16
[그림 2.3] Piezoelectric tool dynamometer 16
[그림 2.4] Multichannel charge amplifier 18
[그림 2.5] Analog-digital converter(DAQ System) 19
[그림 2.6] Experimental setup for measuring grinding force 20
[그림 2.7] Surface roughness measuring equipment 21
[그림 2.8] Shape of diamond wheel 23
[그림 2.9] Shape of workpiece (Al₂O₃) 24
[그림 2.10] Shape of workpiece (SiC) 25
[그림 3.1] Tangential grinding force versus feed & depth of cut(Al₂O₃) 30
[그림 3.2] Normal grinding force versus feed & depth of cut(Al₂O₃) 31
[그림 3.3] Tangential grinding force versus depth of cut & feed (SiC) 32
[그림 3.4] Normal grinding force versus depth of cut & feed(SiC) 32
[그림 3.5] Surface roughness versus depth of cut(Al₂O₃) 35
[그림 3.6] Surface roughness versus depth of cut(SiC) 35
[그림 3.7] Photograph of Al₂O₃ surface with crack 37
[그림 3.8] Photograph of SiC surface with crack 37
[그림 3.9] Photograph of Al₂O₃ surface without crack 38
[그림 3.10] Photograph of SiC surface without crack 38