표제지
목차
ABSTRACT 10
초록 12
I. 서론 14
II. 이론적 배경과 실험 방법 17
2.1. DLC 종류와 특성 17
2.2. 라만 산란의 원리와 그래프의 의미 20
2.3. DLC 박막 증착장비 21
2.4. DLC 증착 과정 23
2.5. DLC 특성 평가 방법 28
III. 결과 및 고찰 31
3.1. DLC 증착 사전 연구 31
3.1.1. Interlayer에 대한 사전연구 31
3.1.2. DLC 증착시간 변화에 따른 특성 분석 사전 연구 32
3.2. DLC 증착 시 플라즈마 특성 35
3.3. DLC 박막의 기계적 특성 38
3.3.1. DLC 박막의 증착률 38
3.3.2. DLC 박막의 경도변화 41
3.4. DLC 박막의 구조적 특성 44
3,4,1. DLC 박막의 라만 분석 특징 44
3.4.2. 라만 스펙트럼 D 밴드 분석 45
3.4.3. 라만 스펙트럼의 G 밴드 위치, ID/IG 분석[이미지참조] 50
3.4.4. DLC 내부의 수소 함량 분석 52
IV. 결론 58
V. 참고문헌 60
표 1. 수소 함량 별 DLC의 종류와 특성 18
표 2. 공정에 따른 실험 조건표 27
그림 1. sp³, sp², 수소 비율에 따른 상평형도 19
그림 2. LF PECVD 시스템 모식도 22
그림 3. DLC 공정 모식도 24
그림 4. 측정시 사용한 장비 사진 30
그림 5.1. 증착시간 변화에 따른 Si, 슬라이드 글라스의 경도 변화 그래프 33
그림 5.2. 증착시간 변화에 따른 XRD 그래프 34
그림 6.1. 입력전력 변화에 따른 OES 세기 변화 그래프 36
그림 6.2. C₂H₄/Ar 혼합가스 비율 변화에 따른 OES 그래프 37
그림 7.1. 입력전력 변화에 따른 증착률 그래프 39
그림 7.2. C₂H₄/Ar 혼합가스 변화에 따른 증착률 그래프 40
그림 8.1. 입력전력 변화에 따른 나노인덴테이션 테스터 경도 그래프 42
그림 8.2. C₂H₄/Ar 혼합가스 비율 변화에 따른 나노 인덴테이션 테스터 경도 그래프 43
그림 9.1. 50, 100 W 조건으로 증착한 DLC의 라만 스펙트럼 46
그림 9.2. 입력전력 변화에 따른 D 밴드의 세기 그래프 48
그림 9.3. C₂H₄/Ar 혼합가스 비율에 따른 D 밴드의 세기 그래프 49
그림 10. 입력전력 변화에 따른 G 밴드 위치, ID/IG 값에 대한 그래프 51
그림 11.1. Tauc plot 방식을 이용한 입력전력 변화에 따른 광학적 밴드갭 그래프 53
그림 11.2. Tauc plot 방식을 이용한 C₂H₄/Ar 혼합가스 비율 변화에 따른 광학적 밴드갭 그래프 54
그림 12.1. ET와 수소 함량의 관계식을 통해 계산한 입력전력 변화에 따른 수소 함량 변화 그래프[이미지참조] 56
그림 12.2. ET와 수소 함량의 관계식을 통해 계산한 입력전력 변화에 따른 수소 함량 변화 그래프[이미지참조] 57