분자층 증착법으로 형성된 혼합 박막은 두께 조절이 용이한 점과 훌륭한 conformality 등으로 최근에 주목받고 있다. 하지만 이 증착 기술은 에틸렌 글리콜과 같이 분자 구조가 유연한 유기 전구체를 사용하는 경우, 성장 메커니즘이 항상 명확하지 않다. 본 논문에서는 사염화티타늄과 에틸렌 글리콜로부터 생성된 티나니콘 박막의 성장 메커니즘을 in-situ 적외선 분광법, 수정결정 미소저울 및 질량 분석기를 통해 제안하고 있다. 위의 분석 장치에 따르면 에틸렌 글리콜은 일반적으로 양쪽의 -OH 그룹이 표면과 두 번 반응하는 "double reaction" 반응을 선호한다. 결과물인 TiOC₂H₄OTi 표면은 반응 부산물인 HCl의 표면 재흡착에 의해 고리 열림 반응이 일어나고 TiOC₂H₄OH를 생성한다. 또한 TiOC₂H₄OH는 HCl 촉매 하에 분자 내부 고리화 반응을 겪어 Ti-OH 표면으로 변화하고 에틸렌 옥사이드를 기체 상태로 방출한다. 티나니콘 박막은 물에 노출 시 박막의 두께가 감소한다. 박막의 높은 Cl 불순물은 물과 쉽게 반응하여 Ti-OH 구조를 형성하고 HCl이 발생된다. 언급한 바와 같이, 이 HCl은 표면에 재흡착하여 유기물을 에틸렌 옥사이드 형태로 탈착시킨다. 최종적으로 유기물이 혼합된 TiO₂ 구조가 형성되게 된다.