목차
반도체/LCD 클린룸 에너지절약기술 개발 : 에너지관리공단 연구개발관리실 프로젝트 사례 / 에너지관리공단동우회 편 1
1. 기술개발의 필요성 및 배경 1
2. 기술개발의 개요 2
2.1. 반도체/디스플레이 클린룸의 공조에너지 분석 2
2.2. 에너지절감 핵심기술 5
2.2.1. 고효율 FCU(Fan Coil Unit) 5
2.2.2. 초박형 FFU(Fan Filter Unit) 6
2.2.3. 열회수식 에어와셔 시스템 7
2.3. 에너지절약 효과 8
2.3.1. 고효율 FCU(Fan Coil Unit) 8
2.3.2. 초박형 FFU(Fan Filter Unit) 9
2.3.3. 열회수식 에어와셔 10
3. 기술개발의 국내, 외 현황 11
3.1. 국내의 기술개발 현황 11
3.2. 해외의 기술개발 현황 12
4. 기술개발의 기대효과 12
5. 활용방안 13