목차
PFCs 가스 저감을 통한 반도체 산업의 녹색화 / 고승종 1
1. 서론 1
2. 도체 산업의 국제적 PFCs 저감 활동 2
2-1. WSC의 PFCs Gas 자발적 감축 협약 2
2-2. PFCs Gas의 CDM 사업 추진 2
3. PFCs Gas 감축 기술 3
3-1. 대체가스 적용을 통한 PFCs 감축 기술 4
3-2. 공정최적화를 통한 PFCs Gas 감축 기술 7
3-3. Recycle 및 Reuse를 통한 PFCs Gas 감축 기술 7
3-4. 저감설비 도입을 통한 PFCs Gas 감축 기술 8
4. 결론 9
참고문헌 10