목차 1
단결정 압전 박막을 통한 차세대 마이크로/나노 시스템 / 박진수 ; 정수영 ; 백승협 ; 이병철 1
[머리글] 1
압전 박막 기반 MEMS/NEMS 소자 2
강유전체 단결정 박막 성장 기술과 소자 기술로의 응용 3
맺음말 5