[표제지 등]
제출문
그림목차
목차
제1장 서론 9
제2장 본론 11
제1절 LD어레이 제작과 분석 11
1-1. 위상 잠금 어레이의 발달 과정 11
1-2. 소자의 구조와 제작 14
가. LD의 구조 14
나. LD의 에피층 성장 16
다. 발진 파장 선택 18
라. LD제작 공정 22
1-3. 측정결과 및 고찰 25
가. I-V 특성 25
나. L-I 특성 29
다. 외부양자효율과 공진기 길이와의 관계 37
라. 문턱 전류밀도와 공진기 길이와의 관계 39
마. 투과 전류 밀도의 계산 41
바. 발진 스펙트럼과 Far-field 관찰 43
사. Quasi-CW 동작과 결과. 46
아. Nd:YAG 펌핑 49
제2절 원형 그레이팅 표면 방출형 레이저에 관한 연구 54
2.1. CCG DFB 레이저의 구조 54
2.2. 2nd Order Grating 58
2.3. Reflector Stack 64
가. Reflector Stack의 모델링 64
나. Reflector Stack의 반사율 측정 방법 67
다. Reflector Stack의 반사율 측정 및 계산 결과 67
제3장 결론 82
제4장 향후 연구방향 85
제5장 연구 실적 87
제6장 참고 문헌 89
제7장 부록 93
제8장 초록 94
그림 1.1. 기본적인 위상 잠금 어레이들(아래의 그림은 굴절율임) 13
그림 1.2. GRIN-SCH구조 17
그림 1.3. 여러 경우의 PL측정값 20
그림 1.4. Al0.07Ga0.93As활성층(이미지참조) 레이저 다이오드의 PL 21
그림 1.5. Multi-stripe Gain-guided 어레이 구조 24
그림 1.6. Al0.07Ga0.93AsLD(이미지참조)의 I-V특성 27
그림 1.7. 5개의 Al0.07Ga0.93AsLD(이미지참조)의 I-V특성 27
그림 1.8. 단위 소자와 어레이의 I-V특성 비교 28
그림 1.9. 전류와 저항의 관계 28
그림 1.10. L-I측정의 예 32
그림 1.11. Al0.07Ga0.93AsLD(이미지참조)의 LI특성 33
그림 1.12. 마운트에 따른 Al0.07Ga0.93AsLD(이미지참조)의 LI특성의 변화 34
그림 1.13. Grading 영역에 따른 Al0.07Ga0.93AsLD(이미지참조)의 LI특성의 변화 35
그림 1.14. 5개의 Al0.07Ga0.93AsLD(이미지참조) Array의 LI특성 36
그림 1.15. 외부양자효율과 공진기 길이와의 관계 38
그림 1.16. 문턱전류밀도와 공진기 길이와의 관계 40
그림 1.17. In(Jth(이미지참조)) 와 공진기 길이와의 관계 42
그림 1.18. Al0.07Ga0.93AsLD(이미지참조)의 발진 스펙트럼 44
그림 1.19. 채널폭 100㎛ LD의 빛의 퍼짐도 (접합면 평행방향) 45
그림 1.20. 채널폭 100㎛ LD의 빛의 퍼짐도 (접합면 수직방향) 45
그림 1.21. 냉각장치 배치도 47
그림 1.22. 발진 스펙트럼 48
그림 1.23. YAG 펌핑 실험 배치도 51
그림 1.24. Coupling Optics 52
그림 1.25. Nd:YAG의 fluorescence 특성 53
그림 2.1. CCG DFB 레이저의 단면도 56
그림 2.2. CCG DFB 레이저의 평면도 57
그림 2.3. 1차원 DFB 구조 59
그림 2.4. 산란된 빔의 방향 60
그림 2.5. 결합계수 대 grating 폭/주기 63
그림 2.6. 파동벡터 k와 E-field 입사파가 매질 n₁에 수직으로 입사하는 경우 65
그림 2.7. 반사율 측정 실험도 68
그림 2.8. 계산에 의한 Reflector Stack의 최고 반사율 대 Reflector Stack의 쌍수 69
그림 2.9. 성장시간의 변화에 따른 반사도의 중심파장이동 : 왼쪽부터 (a),(b),(c) ALAs/AlGaAs의 성장시간 (a)80초/60초 (b)83초/63초 (c)88초/68초 71
그림 2.10. 계산에 의한 성장시간의 변화에 따른 반사도의 중심파장이동 : 왼쪽부터 (a),(b),(c) 72
그림 2.11. 계산된 반사도의 찌그러짐 (a)Al0.12Ga0.88As두께가(이미지참조) λ/4에 비해 5nm 얇을 경우 (b)AlAs의 두께가 λ/4에 비해 7nm 얇은 경우. 74
그림 2.12. 실험적 반사도의 찌그러짐 75
그림 2.13. AlAs층의 두께변화에 따른 반사도의 찌그러짐. 76
그림 2.14. p-doping된 Reflector Stack의 반사도의 중심파장 이동 : 왼쪽부터 (a),(b),(c) 77
그림 2.15. 계산된 Broad Mirror의 반사도 78
그림 2.16. 두개의 Reflector Stack사이에 Spacer 층이 삽입된 경우 79
그림 2.17. 그림2.16의 계산된 반사도 81