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보고서 초록
요약문
SUMMARY
CONTENTS
목차
제1장 연구개발과제의 개요 12
제2장 국내외 기술개발 현황 14
제3장 연구개발수행 내용 및 결과 15
1. 연구 내용 및 결과 15
제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 28
1) 연도별 연구 목표 및 평가의 착안점 28
2) 연구개발 목표 달성도 29
제5장 연구개발결과의 활용계획 30
가. 기술적 측면 30
나. 경제·산업적 측면 30
제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 31
제7장 참고문헌 32
표 1. ZnO 박막 증착을 위한 실험 조건 15
표 2. 이온 빔 에너지에 따른 조사 조건 16
표 3. 박막 트랜지스터의 소스와 채널과의 계면 특성 향상을 위한 RTA 처리 조건 23
표 4. RTA 처리에 따른 ZnO 박막의 전기적 특성 변화 24
그림 1. 8.3, 11.6 MeV 에너지의 이온빔이 조사된 ZnO 박막의 전기적 특성 변화 17
그림 2. 6.1 MeV 에너지의 이온빔이 조사된 다양한 캐리어 농도를 갖는 ZnO 박막의 전기적 특성 변화 17
그림 3. 6.1 MeV 에너지의 이온빔이 조사된 ZnO 박막의 X선 회절 피크 18
그림 4. X-선 회절 피크의 반감폭에서 구한 ZnO 박막의 결정립 크기의 변화 18
그림 5. 6.1 MeV 에너지의 이온빔이 조사된 ZnO 박막의 표면 형상... 19
그림 6. ZnO 밴드갭 내의 불순물 준위 20
그림 7. 6.1 MeV 에너지의 이온빔이 조사된 ZnO 박막의 PL Peak 변화 20
그림 8. 이온 빔 조사전 ZnO 박막 표면의 O 1s spectra 21
그림 9. 6.1 MeV 에너지의 이온빔 조사에 따른 O I peak의 변화 22
그림 10. ZnO 기반의 박막 트랜지스터의 (a) 모식도와 (b) top-view 23
그림 11. 이온빔 조사전 ZnO 기반의 박막 트랜지스터에 대한 전이 특성 24
그림 12. RTA 처리에 따른 ZnO 박막의 PL spectra 25
그림 13. RTA 처리 후 ZnO 기반의 박막 트랜지스터에 대한 전이 특성 25
그림 14. 유효 채널층 영역에 부분 조사를 위한 (a) 박막 트랜지스터의 마스킹 모식도와 (b) 0.5 ㎜ 두께의 마스크에 대한 SRIM 2003 simulation 26
그림 14. RTA 처리된 ZnO 기반의 박막 트랜지스터에 6.1 MeV 에너지의 이온빔 조사 후 전이 특성 26