추천사 4머리말 6chapter 1 가스의 분류 및 정의 21chapter 2 산업가스(Industrial Gases) 알아보기 292.1 공기분리기의 분리공정 332.1.1 초저온 공기분리기(Cryogenic Air Separation) / 342.2 공기분리기 안전 452.3 희소가스(Rare Gases) 502.3.1 헬륨(Helium) / 502.3.2 네온(Neon) / 532.3.3 아르곤(Argon) / 552.3.4 제논(Xenon) / 582.3.5 크립톤(Krypton) / 60chapter 3 특수가스(Specialty Gases) 알아보기 653.1 반도체 제조공정별 특수가스 713.1.1 다결정 실리콘 제조 / 713.1.2 에피탁시(Epitaxy) / 723.1.3 에칭(Etching) / 733.1.4 클리닝(Cleaning) / 733.1.5 이온주입(Ion Implantation) / 743.1.6 도핑(Doping) / 753.1.7 어닐링(Annealing) / 763.1.8 패시베이션(Passivation) / 783.1.9 블랜켓팅(Blanketing) / 783.2 메모리 반도체 793.3 특수가스의 제조공정 803.3.1 순수가스 / 803.3.2 혼합가스 / 843.4 특수가스에 사용되는 용기 88chapter 4 가스의 유해성이란? 914.1 불연성(Non-flammable) 934.2 가연성(Flammable) 974.3 산화성(Oxidizer) 1004.4 부식성(Corrosive) 1034.5 독성(Toxic) 1054.5.1 독성물질의 체내 침입경로 / 1104.5.2 독극물의 생체조직에 대한 영향 / 1154.5.3 독성학 연구 / 1154.6 물질안전보건자료(MSDS)란? 1204.6.1 물질안전보건자료(MSDS)의 이해 / 1204.6.2 물질안전보건자료 게시·비치 방법 / 1214.6.3 화학물질 관리요령 게시 / 1224.6.4 대상화학물질 경고표시 / 1224.6.5 물질안전보건자료(MSDS) 교육 / 125chapter 5 가스 설비의 안전 설계 및 취급 1295.1 실린더 캐비넷(Cylinder Cabinet) 1305.2 가스누설검지 경보기 1345.2.1 가스누설검지 설치 개요 및 목적 / 1345.2.2 가스누설검지 종류 / 1385.3 배기 및 환기설비 1425.4 퍼지 시스템 1445.4.1 진공퍼지(Vacuum Purge) / 1445.4.2 압력퍼지(Pressure Purge) / 1485.4.3 스위프퍼지(Sweep Purge) / 1505.4.4 사이폰퍼지(Siphon Purge) / 1525.4.5 퍼지 시스템 고려사항 / 1535.5 저장창고 1555.5.1 중화설비·이송설비의 설치 / 1555.5.2 용기보관 장소 / 1555.5.3 가스설비실·저장설비실 / 1565.6 재질 선정 1615.6.1 재질 선정 시 고려사항 / 1615.6.2 일반적인 금속재료 / 162chapter 6 독성가스 제독설비 1756.1 제독설비 일반사항 1776.2 제독방법의 선정 1786.2.1 연소처리(Combustion) / 1806.2.2 습식처리(Wet Scrubber) / 1846.2.3 건식처리(Dry Scrubber) / 1916.2.4 Thermal Wet Type Scrubber / 1976.2.5 Burn Wet Type Scrubber / 1986.2.6 조합형 / 1996.3 제독설비의 구성 2006.4 제독설비의 재질 2036.4.1 재질선정 시 주의사항 / 2036.4.2 재질선정 목적 / 2046.5 공정용 제독설비와 비상용 제독설비의 결정 2056.6 제독설비의 처리능력 2076.6.1 독성가스 누출 조건 / 2076.6.2 독성가스 누출량 계산 / 2086.6.3 사용시설의 누출 모드 / 2156.7 제독설비에 필요한 보호구 2166.7.1 보호구의 종류와 수량 / 2166.7.2 보호구의 보관 및 장착훈련 / 2176.8 제독설비의 성능 2186.8.1 제독설비의 기준 / 2186.8.2 제독설비의 제독장치 기준 / 2186.8.3 제독설비의 성능 / 2206.9 제독설비의 유지관리 2226.9.1 제독설비 관리 / 2236.9.2 제독설비 안전점검 / 2246.9.3 제독설비 고장의 유형 / 2256.10 각종 가스의 성질 226chapter 7 각종 가스의 안전한 처리방법 2337.1 안전한 용기처리를 위한 주요 작업 2357.2 가스의 처리에 있어서 교육과 안전 2367.2.1 교육 / 2367.2.2 교육절차 / 2367.2.3 교육범위 / 2377.2.4 안전 / 2387.2.5 안전 체크리스트 / 2397.3 처리 방법의 선택 2407.3.1 가스 처리 방법의 선택 / 2407.3.2 가스의 특성 / 2417.3.3 지역 조건 및 사용 조건 / 2417.3.4 가스의 용량 / 2417.3.5 가스 처리의 체크리스트 / 2427.4 가스 처리 방법 2437.4.1 처리 방법에 대한 기본 원칙 / 2437.4.2 처리 방법 목록 / 2437.4.3 처리 방법 / 2447.5 가스특성과 추천되는 처리 방법 2647.5.1 서론 / 2647.5.2 표 7-3에 대한 설명 / 2647.6 용기 내용 식별 2677.6.1 소개 / 2677.6.2 제품 이름에 의한 식별 / 2677.6.3 용기 색깔에 의한 식별 / 2687.6.4 위험 라벨에 의한 식별 / 2687.6.5 용기 타입에 의한 식별 / 2687.6.6 밸브 타입에 의한 식별 / 2687.6.7 용기 마킹에 의한 식별 / 2697.6.8 용기 내용물을 식별하기 위한 순서 / 2697.7 사용할 수 없는 용기의 처리 2707.7.1 개요 / 2707.7.2 빈 용기의 명확한 표기 / 2707.7.3 용기 퍼지 / 2717.7.4 밸브 탈착 / 2717.7.5 잔류 물질의 잠재적 위험표기 / 2727.7.6 사용하지 못하는 용기의 폐기 / 272chapter 8 방폭 이해하기 3098.1 화재 또는 폭발의 요소 3118.2 용어의 정의 3128.3 위험장소의 구분 3148.4 방폭구조의 종류 3178.5 폭발 가스의 발화도 및 전기설비의 표면 온도 3208.6 방폭기호의 일반적인 표기 3228.7 국내 법규에 의한 방폭기기 선정 3238.7.1. 산업안전보건법 / 3238.7.2 고압가스안전관리법 / 3238.7.3 소방법 / 3248.8 방폭 전기기의 수입 3258.9 IEC 기준의 폭발 위험 범위 계산 3298.9.1 방폭 계산서 예 1 / 3298.9.2 방폭 계산서 예 2 / 332chapter 9 밸브 이해하기 3379.1 밸브의 기능 3419.2 밸브 각 부위 3429.3 개폐에 사용되는 밸브 3489.4 유량 조절에 사용되는 밸브 3539.5 역류 방지 밸브 3579.6 토출용 밸브 3619.7 트림(Trim) 3659.8 특수가스 용기용 밸브의 종류와 구조 3689.8.1 용기 밸브 / 3689.8.2 용기 밸브의 종류 / 3699.8.3 밸브의 구조 / 3699.8.4 밸브의 종류 / 3729.8.5 밸브의 안전변(Pressure Relief Devices Type) / 3749.8.6 밸브의 재검사 / 3759.8.7 이음매 없는 용기의 재검사 / 3759.8.8 사고사례 / 379chapter 10 개인보호구(Personal Protective Equipment) 정리 38310.1 범위와 목적(Scope and Purpose) 38510.2 일반적인 요구사항 38610.2.1 책임 / 38610.2.2 위험성 평가 / 38610.2.3 구비조건 / 38710.2.4 유지 보수 / 38710.2.5 보관 / 38710.2.6 교육 훈련 38710.2.7 사용자 / 38810.2.8 기록 / 38810.2.9 필요한 개인보호구 지정 / 38810.2.10 개인보호구 선택 / 38810.2.11 개인보호구 종류 / 38910.3 개인보호구 평가 및 사양 39010.3.1 청각 보호구 / 39110.3.2 시력 및 안면 보호구 / 39410.3.3 호흡 보호구 / 39710.3.4 머리 보호구 / 40510.3.5 추락 방지 보호구 / 40910.3.6 손 보호구 / 41110.3.7 발 보호구 / 41410.3.8 보호 의류 / 41610.4 특수가스의 개인보호구 선정표(추천) 419chapter 11 COMPGEAP 소개 및 국내외의 화학사고 대응체계 및 관리제도의 현황 소개 42511.1 COMPGEAP(압축가스 비상조치계획) 소개 42711.2 국내외의 화학사고 대응체계 및 관리제도의 현황 소개 46011.2.1 국외 현황 / 46011.2.2 국내 현황 / 470chapter 12 산화성 물질(산소 등) 설계, 취급 안전의 모든 것 51912.1 산화성 분위기에서 연료로 사용될 수 있는 물질 52312.2 점화 52612.3 산소시스템의 배관(Piping) 및 연결구(Fitting) 52912.3.1 가스압력 / 53012.3.2 가스속도 / 53112.3.3 산소배관 재질선정 순서도 / 53812.4 산소시스템의 밸브 재질 선정 53912.4.1 차단용 밸브(Isolation Valve) / 53912.4.2 우회 시스템(Bypass System) / 54012.5 산소시스템의 비금속 재질 선정 542chapter 13 TFT-LCD 제조공정의 가스 안전 54513.1 개요 54613.2 특수가스의 위험성 54713.2.1 실란(Silane, SiH4) / 54713.2.2 포스핀(Phosphine, PH3) / 54913.2.3 Hydrogen(H2) / 55013.2.4 암모니아(Ammonia, NH3) / 55113.2.5 삼불화질소(Nitrogen trifluoride, NF3) / 55113.2.6 염소(Chlorine, Cl2) / 55113.2.7 불소(Fluorine, F2) / 55213.3 취급에 있어서의 모범 사례 55413.3.1 실란(Silane) / 55413.3.2 불소(Fluorine) / 55513.3.3 그 외의 다른 특수가스들 / 55613.4 사고사례 및 비상대응 55713.4.1 실란 / 55713.4.2 수소 / 55813.4.3 삼불화질소(NF3) / 55813.4.4 염소(Cl2) / 559부록 561부록 1 N2O 562부록 2 SiH4 602부록 3 안전진단 예 639부록 4 유용한 환경안전 분야 체크리스트 예제 688참고문헌 711