CHAPTER 01 소개 CHAPTER 02 미세 제작 기술 CHAPTER 03 전기적ㆍ기계적 필수 개념의 소개 CHAPTER 04 정전기적 센싱과 액추에이션 CHAPTER 05 열 센싱과 액추에이션 CHAPTER 06 압저항 센서 CHAPTER 07 압전 센싱 및 액추에이션 CHAPTER 08 자기 액추에이션 CHAPTER 09 센싱과 액추에이션 요약 CHAPTER 10 벌크 미세 가공 기술과 실리콘 비등방성 식각 CHAPTER 11 표면 미세 가공 CHAPTER 12 폴리머 MEMS CHAPTER 13 마이크로 유체공학의 응용 CHAPTER 14 주사 프로브 현미경을 위한 기기 CHAPTER 15 광학 MEMS CHAPTER 16 MEMS 기술경영 부록 찾아보기