[표지] 1
연구결과 요약문 2
목차 3
1. 연구개발과제의 개요 4
가. 연구의 개요 4
(1) 광-나노 융합 박막 형성 원천 기술 4
(2) 친환경 레이저 패터닝 기술의 실질적인 한계 및 문제점 4
나. 국내·외 연구동향 5
다. 연구의 필요성 5
라. 연구 목표 6
마. 연차별 연구 목표 및 내용 6
바. 연구 범위 및 평가 착안점 7
2. 연구수행내용 및 연구결과 8
가. 1차년도: 마이크로 패턴의 병렬/고속/디지털 공정 개발 8
나. 2차년도: 나노 패턴의 병렬/고속/디지털 공정 개발 9
다. 3차년도: 레이저 패터닝 공정의 광/전자 소자 응용 11
3. 연구개발결과의 중요성 14
가. 연구결과의 중요성 14
나. 향후 연구추진 계획 14
다. 활용 계획 14
4. 참고문헌 15
5. 연구성과 18
〈별첨〉 주관연구기관의 자체평가 의견서[내용없음] 3