[표지] 1
제출문 2
기술개발사업 최종보고서 초록 3
기술개발사업 주요 연구성과 8
목차 16
제1장 서론 17
제1절 과제의 개요 17
1. 개발 기술의 정의 17
2. 개발 기술의 활용 및 중요성 20
3. 국내외 기술 동향 21
4. 기술적·경제적 파급효과 22
제2장 과제 수행의 내용 및 결과(기술개발 내용 및 방법) 23
제1절 최종 목표 및 평가 방법 23
1. 개발 최종 목표 23
2. 개발 기술 평가 방법 24
3. 정량적 목표항목의 평가 방법 25
4. 정량적 목표 항목의 평가 환경 27
5. 신뢰성 확보 방안 29
제2절 단계 목표 및 평가 방법 30
1. 1차년도 30
2. 2차년도 33
3. 3차년도 36
4. 4차년도 40
제3절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 43
1. 1차년도 개발 내용 및 개발 범위 43
2. 2차년도 개발 내용 및 개발 범위 54
3. 3차년도 개발 내용 및 개발 범위 63
4. 4차년도 개발 내용 및 개발 범위 72
제4절 수행 결과의 보안 등급 78
제5절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리현황 79
제3장 결과 80
제1절 연구개발 최종 결과 80
1. 1차년도 연구개발 결과 80
2. 2차년도 연구개발 결과 87
3. 3차년도 연구개발 결과 93
4. 4차년도 연구개발 결과 100
제2절 연구개발 추진 체계 107
1. 각 기관별 역할 체계 107
2. 각 기관별 추진 내역 110
제3절 고용 창출 효과 184
제4절 자체보안관리진단표 186
1. ㈜이큐셀 186
2. ㈜제이디 187
3. 나노종합기술원 188
4. 한국표준과학연구원 189
5. 광운대학교 190
6. 연세대학교 191
7. SK하이닉스 192
제5절 안전관리 이행 현황 193
1. 영리기관: ㈜이큐셀, ㈜제이디, SK하이닉스 193
2. 비영리기관: 나노종합기술원, 한국표준과학연구원, 광운대학교, 연세대학교 196
제4장 사업화 계획 197
제1절 시장 현황 및 전망 197
제2절 사업화 계획 198
1. 사업화 전략 198
2. 생산 계획 198
2. 판매 전략 200
제3절 향후 추가 기술 개발 계획 201
부록 : 정량적 목표 항목 202
1. 웨이퍼내 온도 분호 균일도 203
2. 온도측정 정확도 203
3. 실시간 무선통신 기술 가능 여부 204
4. 자체 전원의 누적 사용시간 204
5. 사용 온도 205
6. 웨이퍼 크기/두께 205
7. 온도 센서 개수 206
8. 플라즈마 센서 수 206
9. 플라즈마 밀도 207
10. 온도 교정기 정확도 207
11. 무선 중온용 웨이퍼 센서 208
12. 무선 중온용 웨이퍼 센서의 온도측정 정확도 208
13. 유선 고온용 웨이퍼 센서 209
14. 유선 고온용 웨이퍼 센서의 온도측정 정확도 209
15. 온도 교정기 정확도 210
16. 하이브리드 웨이퍼 센서 수(온도/플라즈마) 210
[뒷표지] 211