[표지] 1

요약문 2

목차 3

1. 연구개발과제의 개요 4

1) 연구개발의 필요성 4

2) 기존 문제점을 해결하기 위해 본 연구에서 제안하는 주제 4

3) 연구개발과제의 최종 목표 4

2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 4

1) 압전 박막의 결정 배향을 위한 seed 합성 4

1-1) Seed 개발 연구 결과 요약 5

2) 결정 배향 박막 제조 6

2-1) 기판에 seed를 균일하게 도포 방법 연구 6

2-2) 결정 배향 박막 증착 6

3) 유연한 Metal foil 기판 위에 증착된 PZT 박막의 에너지 수확 7

3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 정도 8

1) 연구수행 결과 8

2) 목표 달성 수준 8

4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도 8

5. 연구개발성과 및 활용 계획 9

1) 연구성과 9

2) 연구성과 활용계획 16

6. 참고문헌 16