목차
제 1 장 초미세 공정기기 산업기술로드맵의 개요 14
1. 초미세 공정기기 산업의 정의 14
2. 초미세 공정기기 산업기술로드맵 작성 범위 14
3. 초미세 공정기기 산업 기술로드맵의 추진내용 15
(1) 위원회 구성 15
(2) 추진일정 17
제 2 장 초미세 공정기기 산업의 환경변화와 전망 20
1. 세계 초미세 공정기기 산업의 동향과 경쟁국 분석 20
(1) 초미세 공정기기 산업의 대외 환경변화 20
(2) 초미세 공정기기 산업 동향 24
가. 시장 동향 24
나. 세계 생산 동향 24
(3) 초미세 공정기기 산업의 특허동향 분석 52
2. 국내 초미세 공정기기 산업의 위치와 현안 62
(1) 산업의 경쟁패러다임 변화 62
(2) 산업의 현 주소 63
가. 시장동향 64
나. 기술동향 82
다. 산업내의 기업간 관계 100
라. 산업의 혁신지원 네트워크 112
(3) SWOT분석 및 당면 과제 120
3. 초미세 공정기기 산업의 비전과 미래상 121
(1) 초미세 공정기기 산업의 미래상 121
(2) 초미세 공정기기 산업의 발전 비전 123
(3) 목표와 추진방향 125
(4) 산업차원의 매크로로드맵 128
제 3 장 초미세 공정기기 산업의 전략분야 선정 129
1. 초미세 공정기기 산업의 전략 Killer Application 선정 방법론 129
(1) 선정 기준 129
(2) 특성화 기술 선정기준 129
2. 초미세 공정기기 산업의 제품/기술 계통도 131
(1) 제품/기술 계통도 131
3. 초미세 공정기기 산업의 포트폴리오 분석 134
(1) 제품/기술의 시장 경쟁력 분석 134
(2) 제품/기술의 기술 경쟁력 분석 140
(3) 제품/기술의 Life Cycle과 실현 시점 분석 144
(4) 포트폴리오 분석 148
4. 초미세 공정기기 산업의 Killer Application 선정 149
(1) 초미세 성형 장비 149
(2) 프린팅 장비 151
(3) 박막 식각 장비 154
(4) 박막 증착 장비 156
(5) 초미세 구동 기술 159
(6) 초미세 조립 기술 161
(7) 구조/물성 계측 164
제 4 장 초미세 공정기기 발전전략과 기술로드맵 167
1. 4대 Killer Application 개발전략 167
(1) 맞춤형 차세대 패터닝 장비 기술혁신 추진전략 168
(2) 3H(High performance, High Reliability, High Precision) 박막 공정 장비 추진전략 172
(3) TOP(Tiny, Omnipresent, and Parallel) 초미세 시스템 추진전략 177
(4) RT(Real-Time) 측정ㆍ검사 장비 추진전략 182
제 5 장 초미세 공정기기 산업화 추진방안 187
1. 사업화 진흥 방안 187
(1) 기술이전 및 사업화 추진방안 187
(2) 산업기술정책 추진방안 188
2. 기반조성 차원의 기술혁신 방안 190
(1) 지역간 연계방안 190
(2) 국제협력 255
(3) 표준화 267
[별첨] 초정밀기기 산업의 특허동향 380
제 1 장 초정밀 기기산업의 한ㆍ미ㆍ일 특허동향 380
1. 연도별 특허 출원/등록 추이 380
2. 초정밀 기기 산업의 기술발전위치 382
3. 초정밀 기기 산업의 기술별 특허분포도(Themescape) 384
(1) 차세대 패터닝 산업의 특허분포도 384
(2) 차세대 박막 산업의 특허분포도 385
(3) 초미세 시스템 산업의 특허분포도 386
(4) 검사 측정 기기 산업의 특허분포도 387
4. 국가별 특허동향 및 점유율 388
(1) 한국특허에서의 국가별 특허동향 388
(2) 미국특허에서의 국가별 특허동향 389
5. 각국의 세부기술별 특허분포 391
(1) 한국 출원특허 391
(2) 미국등록특허 393
(3) 일본 출원특허 395
6. 포트폴리오 분석 398
7. 지역 Infra 분석(발명자 주소 기준) 399
(1) 지역별 특허동향 399
(2) 지역별 주요출원인 분석 400
(3) 지역별 특화기술 분석 400
제 2 장 차세대 패터닝 산업의 특허동향 402
1. 주요국가의 특허활동 및 역점 기술분야 402
2. 주요기업의 특허동향 및 국제협력 현황 405
(1) 주요기업의 선택과 집중 현황 405
(2) 국가별 국제 공동 연구 현황 406
3. 세부 기술분야별 기술 및 권리 중요도 408
제 3 장 차세대 박막 기술 특허동향 409
1. 주요국가의 특허활동 및 역점 기술분야 409
2. 주요기업의 특허동향 및 국제협력 현황 412
(1) 주요기업의 선택과 집중 현황 412
(2) 국가별 국제 공동 연구 현황 413
3. 세부 기술분야별 기술 및 권리 중요도 415
제 4 장 초미세 시스템 기술의 특허동향 417
1. 주요국가의 특허활동 및 역점 기술분야 417
2. 국가별 국제 공동 연구 현황 420
3. 세부 기술분야별 기술 및 권리 중요도 422
제 5 장 검사 측정 기기 산업의 특허동향 423
1. 주요국가의 특허활동 및 역점 기술분야 423
2. 국가별 국제 공동 연구 현황 425
3. 세부 기술 분야별 기술 및 권리 중요도 428
[표 1-1] 전문위원회 구성 17
[표 2-1] 국가별 TFT-LCD 세계시장 매출액(점유율) 20
[표 2-2] 국가별 PDP 세계시장 매출액(점유율) 21
[표 2-3] 초미세 공정기기 산업의 세계 시장 규모 24
[표 2-4] 초미세 공정기기산업의 세계 시장 전망 27
[표 2-5] Type별 Nanotech Tools 미국 시장규모 2003 28
[표 2-6] 미국 나노기술장비 종류별 시장규모 2003 29
[표 2-7] 프린팅 장비 산업의 세계 시장 전망 30
[표 2-8] 프린팅산업의 세계 시장 전망 31
[표 2-9] 반도체 에칭 산업의 세계 시장 전망 31
[표 2-10] 박막증착 산업의 세계 시장 전망 32
[표 2-11] 초미세 시스템 산업의 세계 시장 전망 32
[표 2-12] 정보 표시 소자용 구동 칩의 packaging 산업의 세계 시장 전망 34
[표 2-13] 세계 반도체 설비 투자 및 장비 시장 전망 35
[표 2-14] 해외 주요국의 기술개발 현황 38
[표 2-15] 해외 주요국의 기술개발 현황 40
[표 2-16] 해외 주요국의 기술개발 현황 41
[표 2-17] 해외 주요국의 기술개발 현황 42
[표 2-18] 해외 주요국의 기술개발 현황 44
[표 2-19] 해외 주요국의 기술개발 현황 48
[표 2-20] 해외 주요국의 기술개발 현황 49
[표 2-21] 해외 주요국의 기술개발 현황 49
[표 2-22] 해외 주요국의 기술개발 현황 51
[표 2-23] 분야별 MEMS 시장 전망 52
[표 2-24] 초미세 공정기기산업의 국내 시장 규모 65
[표 2-25] 프린팅 장비 산업의 국내 시장 규모 66
[표 2-26] 반도체 에칭 장비 산업의 국내 시장 규모 67
[표 2-27] 박막 증착 장비산업의 국내 시장 규모 68
[표 2-28] 패키징 장비 산업의 국내 시장 규모 68
[표 2-29] 반도체 검사 장비의 국내 시장 규모 70
[표 2-30] 측정 산업의 국내 시장 규모 70
[표 2-31] 반도체 장비 산업의 국가 경제적 비중 71
[표 2-32] 초미세 공정기기 산업의 국내 생산/수출입 전망 73
[표 2-33] 프린팅 장비 산업의 국내 생산/수출입 전망 74
[표 2-34] 반도체 에칭 산업의 국내 생산/수출입 전망 75
[표 2-35] 박막증착장치 산업의 국내 생산/수출입 전망 76
[표 2-36] 대표적인 국내 관련업체의 생산 품목 및 개발 품목 78
[표 2-37] 초미세 공정기기 산업의 국내 시장 전망 78
[표 2-38] 디스플레이와 RFID 등을 위한 프린팅 장비산업의 국내 시장 전망 79
[표 2-39] 반도체 에칭 산업의 국내 시장 전망 80
[표 2-40] 박막증착장비 산업의 국내 시장 전망 81
[표 2-41] 정보 표시 소자용 구동 칩의 packaging 산업의 국내 시장 전망 81
[표 2-42] 측정 기기 산업의 국내 시장 전망 82
[표 2-43] 국내 기술개발 현황 90
[표 2-44] 잉크젯 프린팅 관련 국내 기술력 비교 92
[표 2-45] 국내 기술개발 현황 92
[표 2-46] 국내 기술개발 현황 93
[표 2-47] 국내 기술개발 현황 94
[표 2-48] 국내 기술개발 현황 96
[표 2-49] 국내 기술개발 현황 97
[표 2-50] 국내 기술개발 현황 98
[표 2-51] 국내 기술개발 현황 100
[표 2-52] 프린팅 제품 생산 업체 현황 101
[표 2-53] 주요 모듈 공급업체 105
[표 2-54] 주요 모듈 공급업체 105
[표 2-55] 주요 모듈 공급업체 107
[표 2-56] 주요 모듈 공급업체 109
[표 2-57] 주요 모듈 공급업체 109
[표 2-58] 국내 나노기술연구인력 학력별 현황 및 수요전망 112
[표 2-59] 국내의 나노 관련 인프라 현황 116
[표 2-60] 국내 나노 인프라 구축 종합시설 현황 117
[표 2-61] 국내 나노 인프라 구축 지원시설 현황 118
[표 2-62] 국내 나노 인프라 구축 연계시설 현황 119
[표 5-1] 지역별 정밀기계 제조업 현황(2004년) 190
[표 5-2] 부산지역 초소형 정밀기계산업의 제조업체 규모별 특성 192
[표 5-3] 부산지역 MEMS관련 부품제조업체의 규모별 특성(2003년) 192
[표 5-4] 지방대도시 제조업 역량 비교 200
[표 5-5] 광주광역시 산업단지 현황(2005. 12. 31 기준) 202
[표 5-6] 광주지역 광산업체 현황 204
[표 5-7] 광주지역 초정밀기기관련산업 분야별 현황 204
[표 5-8] 광주 초미세 공정기기산업의 SWOT 분석 207
[표 5-9] 충북 5대 수출 품목 212
[표 5-10] 충북 5대 품목 수출액 213
[표 5-11] 충북의 주요 반도체 업체 213
[표 5-12] 전기전자부품 관련 주요 업체 215
[표 5-13] 오창과학산업단지 현황 216
[표 5-14] 충남 전자정보산업 선도기업 현황 224
[표 5-15] 전자정보관련 분야별, 지역별 벤처기업의 업체수 및 주생산품 225
[표 5-16] 충남 도내 전자정보 관련 산업단지 현황 226
[표 5-17] 제조장비 관련 산업집적지 평가 227
[표 5-18] 초미세 공정기기 관련 분야 충남도내 관련 대학부설연구소 현황 228
[표 5-19] 전자정보 관련 충남소재 정부출연연구기관 현황 229
[표 5-20] 전북지역 기계산업체의 규모별 비중 분포 236
[표 5-21] “초미세공정기기” 분야 관련 전북의 RTRM 및 RIRM 현황 241
[표 5-22] 기업 설문조사 결과 250
[표 5-23] 기존의 주요 연구사례와 국제협력 로드맵의 차별화 257
[표 5-24] 국제기술협력유형 261
[표 5-25] 기술분야별 우선협력대상기관의 국가별 분포 262
[표 5-26] 협력방안별 우선협력대상기관의 국가별 분포 264
[표 5-27] 초미세 공정 관련 장비 282
[표 5-28] 초미세 공정기기의 요소기술 현황 283
[표 5-29] 초미세 공정기기 국제 표준화 동향 286
[표 5-30] 초미세 공정기기 국내 표준화 동향 287
[표 5-31] 제품군별 표준화 항목 288
[표 5-32] 기술활용 분야에 따른 장비 분류 309
[표 5-33] 장비유형별 분류 체계 310
[표 5-34] 최근 5년간(’03~’07년) 주요 부처 연구장비관련 사업비 314
[표 5-35] 최근 5년(’03~’07년)간 유형별 예산 투자 현황 315
[표 5-36] 최근 5년간(’03~’07년) 각 부처 연구장비관련 주요사업 및 유형분류 316
[표 5-37] 인프라 확충 및 운영을 지원하는 주요 사업의 목적 및 지원내용 320
[표 5-38] 기관유형별 연구장비 보유 현황 321
[표 5-39] 금액별 연구장비 보유 현황 322
[표 5-40] 지역별 연구장비 보유 현황 323
[표 5-41] 금액별 총보유장비수 대비 공동활용장비수 324
[표 5-42] 부처별 장비관련 사업 관리체계(현재) 325
[표 5-43] 국가사업을 통해 기 구축된 연구장비 및 시설 현황 345
[표 5-44] 용도별 장비 구축 현황 345
[표 5-45] 14개 분야별 내ㆍ외부사업을 통한 장비구축 현황 348
[표 5-46] 과기부의 기획연구를 통해 도출한 산업기술인프라의 특성 정리 352
[표 5-47] Solid NMR의 적용대상과 특성 354
[표 5-48] 대형연구장비의 도입필요시기 분석 366
[표 5-49] 대형연구장비의 Life Cycle 분석 367
[표 5-50] 대형연구장비 구입 및 개발관련 주요 이슈 369
[표 5-51] 기타 산업기술 인프라 장비 및 필요성 370
[표 5-52] 분야별 수요조사 결과 373
[그림 2-1] 유연 생산 개념 21
[그림 2-2] 초미세 공정기기 산업의 모듈 구성 23
[그림 2-3] 특허 점유율 및 출원(등록)추이 52
[그림 2-4] 한ㆍ미ㆍ일 3국의 특허활동 지수 53
[그림 2-5] 한ㆍ미ㆍ일 3국의 포트폴리오 비교 54
[그림 2-6] 세부 기술별 포트폴리오 55
[그림 2-7] 세부 기술별 역점 분야 56
[그림 2-8] 역점기술분야(미국특허) 57
[그림 2-9] 주요국가의 기술력 지수 58
[그림 2-10] 인용도 및 시장 확보력 59
[그림 2-11] 연구개발방향 및 기술발전속도 60
[그림 2-12] 주요기업의 평균 PSI 61
[그림 2-13] 국가별 국제협력 현황(미국특허) 62
[그림 2-14] 초미세 공정기기의 세계시장 및 한국 시장 비교 64
[그림 2-15] Optical Storage Media 의 발전 방향 88
[그림 2-16] 초미세 공정기기 산업의 모듈 구성 103
[그림 2-17] 프린팅 장비의 주요 구성모듈 104
[그림 2-18] 나노조작기의 주요 구성모듈 106
[그림 2-19] 측정 장비의 주요 구성모듈 108
[그림 2-20] 박막 공정장비의 주요 구성모듈 111
[그림 2-21] 검사측정 기기의 주요 구성모듈 111
[그림 2-22] 나노기술연구인력의 학력별 향후 수요전망 113
[그림 2-23] 기관별 나노기술연구인력 현황 113
[그림 2-24] 전공별 나노기술연구인력 현황(2004년 기준) 114
[그림 2-25] 나노기술분야별 연구인력 분포 115
[그림 2-26] 초미세 공정기기 산업의 미래상 121
[그림 2-27] 현재와 미래의 초미세 공정기기 전개 양상 122
[그림 3-1] Killer Application 선정기준 130
[그림 3-2] Killer Application 선정방법 130
[그림 4-1] 맞춤형 차세대 패터닝 장비의 개념도 168
[그림 4-2] 3H(High performance, High Reliability, High Precision) 박막공정 장비의 개념도 172
[그림 4-3] TOP초미세 시스템 개념도 177
[그림 4-4] RT(Real-Time) 측정ㆍ검사 장비의 개념도 182
[그림 5-1] 광주지역 산업단지 위치도 및 연구기관 집적현황 205
[그림 5-2] 충남 전자정보산업의 주요 현황 222
[그림 5-3] 전자정보 관련 섹터의 전후방 연관구조 223
[그림 5-4] 충남 제조장비 관련 유망 섹터들의 지역 내 가치사슬 224
[그림 5-5] 전북의 기계ㆍ자동차 부품소재 산업 집적화 현황 238
[그림 5-6] 자동차부품 및 기계산업 클러스터 238
[그림 5-7] 경남 정밀기기 기업체 246
[그림 5-8] 경남 정밀기기 기업체 시군별 분포현황 247
[그림 5-9] 경남 정밀기기 기업체 생산품목 현황 248
[그림 5-10] 경남 정밀기기 기업체 매출액 분포현황 249
[그림 5-11] 경남 정밀기기 기업체 종업원수 분포현황 249
[그림 5-12] 작성 방법 269
[그림 5-13] 2006년 산업기술로드맵 추진 방향 및 인프라 로드맵의 위상 297
[그림 5-14] 인프라 로드맵 추진 체계 298
[그림 5-15] 인프라 로드맵 구조 301
[그림 5-16] 산업기술인프라의 연구장비 및 시설의 유형 306
[그림 5-17] 연도별 연구장비 공동활용 현황 324
[그림 5-18] 장비 예약ㆍ승인 시스템 개선 체계도 327
[그림 5-19] 인프라넷을 통한 산업-지역별 인프라의 산학연 연계 개념도 327
[그림 5-20] 산업자원부가 운영하는 인프라맵(Infra-Map) 328
[그림 5-21] 내부 순환구조(inner loop) 330
[그림 5-22] 융합화, 복합화에 대한 연구추진체제의 변화 332
[그림 5-23] 14개 분야별 장비 분포 : 구축장비 건수 대비 346
[그림 5-24] 14개 분야별 장비 분포 : 해당장비구입 비용 대비 347
[그림 5-25] 과기부의 기획연구 중 대형연구장비 도출 Process 350