목차
제 1 장 디스플레이장비 산업기술 로드맵의 개요 17
1. 디스플레이장비 산업의 정의 17
(1) 디스플레이의 개념 17
(2) 디스플레이 산업의 구성 19
(3) 디스플레이 장비산업의 개념 20
(4) 디스플레이 장비산업의 특징 21
2. 디스플레이 장비 산업기술 로드맵 작성 범위 23
(1) 장비산업 기술분류 23
(2) 장비산업의 동향분석 및 비전 제시 24
(3) 특허 분석 24
(4) 전략분야 선정 및 마이크로 로드맵 작성 24
(5) 기술 혁신 추진 전략 제시 24
3. 디스플레이 장비산업기술 로드맵의 추진 내용 25
(1) 위원회 구성 25
(2) 추진일정 26
제 2 장 디스플레이장비산업의 환경변화와 전망 27
1. 세계 디스플레이장비산업의 동향과 경쟁국 분석 27
(1) 디스플레이장비산업의 대외환경 변화 27
(2) 디스플레이 장비산업 동향 33
가. 시장 동향 33
나. 기술동향 43
(3) 디스플레이 장비산업 특허동향 44
2. 국내 디스플레이장비산업의 당면위치와 현안 47
(1) 산업의 경쟁 패러다임의 변화 47
(2) 산업의 현주소 52
가. 시장동향 52
나. 기술동향 55
다. 산업내의 기업간 관계 60
다-1. 국내외 TFT-LCD 장비업체 및 공급구조 63
다-2. 국내외 PDP 장비업체 및 공급구조 78
다-3. 국내외 OLED 장비업체 및 공급구조 80
라. 산업의 혁신 지원 네트워크 89
(3) SWOT 분석 및 당면과제 91
3. 디스플레이장비산업의 비전과 미래상 95
(1) 디스플레이장비산업의 미래상 95
(2) 디스플레이 장비산업의 발전 비전 96
(3) 목표와 추진방향 97
(4) 산업차원의 매크로 기술로드맵 98
제 3 장 디스플레이 장비산업의 전략분야 선정 99
1. 디스플레이장비산업의 전략 제품/기술 선정 방법론 99
(1) 전략 제품/기술 선정 기준 99
(2) 전략 제품/기술 선정 방법론 114
2. 디스플레이 장비산업의 제품/기술 계통도 119
(1) 제품/기술 계통도 119
3. 디스플레이 장비산업의 포트폴리오 분석 120
(1) 제품/기술의 시장 경쟁력 분석 120
(2) 제품/기술의 기술 경쟁력 분석 122
(3) 제품/기술의 Life Cycle과 실현 시점 분석 157
(4) 포트폴리오 분석 161
가. 디스플레이장비 산업의 시장포트폴리오 161
나. 디스플레이장비 산업의 기술포트폴리오 161
다. 디스플레이장비 산업의 전략적 포트폴리오 162
4. 디스플레이 장비산업의 전략 제품/기술군 선정 162
(1) 디스플레이소자 특성대응 융합 장비 162
(2) 공정 단순화 및 클러스터 장비 162
(3) 미세선폭 가공장비 163
(4) 고정세, 신공정 핵심원천 장비 163
제 4 장 디스플레이장비산업 발전전략과 기술로드맵 164
1. 4대 Killer Application 개발전략 164
(1) 디스플레이 소자 특성 대응 융합장비 기술혁신 추진전략 165
가. 개념도 165
나. R&D 현황 및 기술수준 169
다. 세부 기술개발 추진 내용 171
라. 마이크로로드맵 173
(2) 공정단순화 및 클러스터 장비개발 기술혁신 추진전략 176
가. 개념도 176
나. R&D 현황 및 기술수준 179
다. 세부 기술개발 추진 내용 181
라. 마이크로로드맵 183
(3) 미세선폭 가공장비 기술혁신 추진전략 186
가. 개념도 186
나. R&D 현황 및 기술수준 197
다. 세부 기술개발 추진 내용 201
라. 마이크로로드맵 205
(4) 고정세 신공정 핵심원천 장비 개발 기술혁신 추진전략 209
가. 개념도 209
나. R&D 현황 및 기술수준 220
다. 세부 기술개발 추진 내용 221
라. 마이크로로드맵 224
제 5 장 디스플레이 장비 산업화 추진방안 225
1. 사업화 진흥 방안 225
(1) 기술이전 및 사업화 추진방안 225
가. 디스플레이 소자 특성 대응 융합 장비 225
나. 공정 단순화 및 클러스터 장비 226
다. 미세 선폭 가공 장비 227
라. 고정세, 신공정 핵심 원천 장비 227
(2) 산업기술정책 추진방안 228
2. 기반조성 차원의 기술 혁신 방안 230
(1) 지역혁신 230
(2) 국제협력 267
(4) 산학연 연계(기반구축) 309
[별첨] 디스플레이 장비 산업의 특허동향 385
1. 개요 385
(1) 연구목적 및 배경 385
(2) 특허분석 방법론 386
(3) 통계분석 기준 387
2. 디스플레이 장비 산업 393
(1) 연도별 특허 출원/등록 추이 393
(2) 디스플레이 장비 산업의 기술발전위치 394
(3) 주요국가의 특허활동 및 역점 기술분야 394
(4) 포트폴리오 분석 396
(5) 지역 Infra 분석 397
(6) 주요국가의 특허경쟁력 분석 398
3. Patterning 가공기술 400
(1) 연도별 특허 출원/등록 추이 400
(2) Patterning 가공기술의 특허분포도(Themescape) 401
(3) 세부기술별 특허활동 및 역점 기술분야 402
(4) Patterning 가공기술의 포트폴리오 분석 403
(5) Patterning 가공기술의 특허경쟁력 분석 404
(6) PSI(Patent Scoring Index) 분석 407
4. 성막 공정기술 409
(1) 연도별 특허 출원/등록 추이 409
(2) 성막 공정기술의 특허분포도(Themescape) 410
(3) 세부기술별 특허활동 및 역점 기술분야 411
(4) 성막 공정기술의 포트폴리오 분석 412
(5) 성막 공정기술의 특허경쟁력 분석 413
(6) PSI(Patent Scoring Index) 분석 416
5. 세정ㆍ식각 공정기술 418
(1) 연도별 특허 출원/등록 추이 418
(2) 세정ㆍ식각 공정기술의 특허분포도(Themescape) 419
(3) 세부기술별 특허활동 및 역점 기술분야 420
(4) 세정ㆍ식각 공정기술의 포트폴리오 분석 421
(5) 세정ㆍ식각 공정기술의 특허경쟁력 분석 422
(6) PSI(Patent Scoring Index) 분석 425
6. 열처리 공정기술 427
(1) 연도별 특허 출원/등록 추이 427
(2) 열처리 공정기술의 특허분포도(Themescape) 428
(3) 세부기술별 특허활동 및 역점 기술분야 428
(4) 열처리 공정기술의 포트폴리오 분석 429
(5) 열처리 공정기술의 특허경쟁력 분석 430
(6) PSI(Patent Scoring Index) 분석 433
7. 검사ㆍRepair 공정기술 435
(1) 연도별 특허 출원/등록 추이 435
(2) 검사ㆍRepair 공정기술의 특허분포도(Themescape) 436
(3) 세부기술별 특허활동 및 역점 기술분야 437
(4) 검사ㆍRepair 공정기술의 포트폴리오 분석 438
(5) 검사ㆍRepair 공정기술의 특허경쟁력 분석 439
(6) PSI(Patent Scoring Index) 분석 442
8. 셀ㆍ모듈 공정기술 444
(1) 연도별 특허 출원/등록 추이 444
(2) 셀ㆍ모듈 공정기술의 특허분포도(Themescape) 445
(3) 세부기술별 특허활동 및 역점 기술분야 446
(4) 셀ㆍ모듈 공정기술의 포트폴리오 분석 446
(5) 셀ㆍ모듈 공정기술의 특허경쟁력 분석 447
9. 결론 및 시사점 450
(1) 결론 450
(2) 시사점 452
[표 1-1] 국내 디스플레이 산업의 위상[2005년] 20
[표 2-1] 디스플레이 장비 세계 시장 규모 28
[표 2-2] 디스플레이 투자 소요비용 29
[표 2-3] 세계 주요 디스플레이 장비업체 현황[‘07] 33
[표 2-4] 국내 평판디스플레이 수급동향 실적 및 전망 36
[표 2-5] 전 세계 TFT-LCD 신규라인 증설 현황 37
[표 2-6] 2006년 LCD신규라인 가동현황 38
[표 2-7] LCD 제조 공정별장비의 세계 시장 규모 40
[표 2-8] 세계 30대 디스플레이 장비업체[‘07년 기준] 41
[표 2-9] LCD 패널 제조장비 세계시장 전망 42
[표 2-10] LCD 장비 산업의 경쟁력 비교 49
[표 2-11] 전공정 장비 시장 비중 50
[표 2-12] 패널 대기업 vs 1ㆍ2차 장비 납품업체 비교 51
[표 2-13] 디스플레이 장비산업의 국내시장 규모 53
[표 2-14] 국내 장비업체 분야별 매출구조 53
[표 2-15] 국내 디스플레이 장비시장 규모[‘05년] 53
[표 2-16] 제품/공정별 장비 시장규모[`05년] 54
[표 2-17] 디스플레이 장비산업의 국내 생산/수출입 전망 54
[표 2-18] 디스플레이 장비산업의 국내시장 전망 54
[표 2-19] TFT-LCD 전 공정 장비 국내 기술개발 현황 55
[표 2-20] TFT-LCD 후공정 장비의 국내기술 개발동향 56
[표 2-21] PDP 전공정장비 국내 기술개발 현황 58
[표 2-22] PDP 후 공정장비 국내 기술개발 현황 59
[표 2-23] OLED 장비 국내 기술개발 현황 60
[표 2-24] 세계 30대 장비업체 61
[표 2-25] 국내 디스플레이 장비 매출 Top 30개사 현황 62
[표 2-26] TFT-LCD 어레이 공정장비 국내외 생산업체 63
[표 2-27] TFT-LCD 셀 공정장비 국내외 생산업체 64
[표 2-28] TFT-LCD 모듈 공정장비 국내외 생산업체 64
[표 2-29] 세정장치 시장 및 점유율 65
[표 2-30] PR Coater 시장 및 점유율 65
[표 2-31] Developer 시장 및 점유율 67
[표 2-32] 습식식각 장치 시장 및 점유율 67
[표 2-33] 건식식각 장치 시장 및 점유율 68
[표 2-34] PR Strip, Ashing 장치 시장 및 점유율 68
[표 2-35] Ion Doping Machine 시장 및 점유율 70
[표 2-36] Laser Annealing Machine시장 및 점유율 70
[표 2-37] 열처리장치 시장 및 점유율 71
[표 2-38] 배향막 도포장치 시장 및 점유율 71
[표 2-39] Rubbing Machine 시장 및 점유율 72
[표 2-40] seal dispenser, 인쇄기 시장 및 점유율 72
[표 2-41] Spacer Spray Machine 시장 및 점유율 73
[표 2-42] 액정주입기 시장 및 점유율 73
[표 2-43] ODF Machine, Assembler 시장 및 점유율 74
[표 2-44] Cell Scriber, Cutter 시장 및 점유율 74
[표 2-45] 편광판 부착기 시장 및 점유율 74
[표 2-46] 어레이 공정장비 국산화율 [금액기준] 76
[표 2-47] 셀공정장비 국산화율 [금액기준] 77
[표 4-48] PDP장비 국내외 생산업체 현황 78
[표 4-49] OLED 전공정 장비 국내외 생산업체 80
[표 4-50] OLED 후공정 장비 국내외 생산업체 81
[표 4-51] OLED 증착장비 및 봉지장비 국내외 생산업체 현황 82
[표 4-52] OLED 패널업체 장비 구입 현황 83
[표 2-53] 국내 패널업체의 장비납품 구조 87
[표 2-54] LCD 주요 부품별 원가비중 및 국내외 납품 현황 88
[표 2-55] 2차부품시장 사례 : BLU(백라이트유닛) 89
[표 3-1] 디스플레이장비 공정별 제조장비의 분류 104
[표 3-2] LCD 장비 분류 106
[표 3-3] PDP 제조 공정장비 108
[표 3-4] OLED 제조 장비 분류 110
[표 3-5] 제품/기술 계통도 119
[표 3-6] 제품/기술의 시장 경쟁력 분석 120
[표 3-7] 제품/기술의 기술 경쟁력 분석 122
[표 3-8] 기술적 비교[노광기술] 126
[표 3-9] 기술개발 단계별 목표[노광기술] 130
[표 3-10] 설비의 주요 기술적 사항 139
[표 3-11] 플라즈마 기술개발 단계별 목표 143
[표 3-12] 유기 증착 기술의 국내 개발 현황 149
[표 3-13] 유기 증착 기술의 해외 개발 동향 150
[표 3-14] Thermal 공정 장비 국내 기술개발 현황 151
[표 3-15] Thermal 공정 장비의 해외 주요국의 기술개발 현황 151
[표 4-1] 노광기 비교표 188
[표 4-2] Maskless 노광기 비교표 189
[표 4-3] 현재 디스플레이산업에 적용된 nanoimprint 기술 219
[표 5-1] 충남 디스플레이 생산업체의 시장 점유율 231
[표 5-2] 삼성전자 천안 및 아산 생산 라인 현황 233
[표 5-3] 삼성SDI PDP 생산라인 현황 233
[표 5-4] 삼성SDI AMOLED 투자 세부 내용 234
[표 5-5] 충남 디스플레이산업 선도기업 현황 234
[표 5-6] 충남 디스플레이산업 연도별 기업현황 235
[표 5-7] 충남 도내 디스플레이산업 관련 산업단지 현황 236
[표 5-8] 광주광역시 산업단지 현황 246
[표 5-9] 2006년 광주지역 광산업 분야별 현황 247
[표 5-10] 광주지역 광산업 현황(광산업육성계획 이전과 비교) 247
[표 5-11] 광주지역 산업 SWOT 분석 249
[표 5-12] 디스플레이 업체들의 지역별 분포와 기업현황 254
[표 5-13] 기존의 주요 연구사례와 국제협력 로드맵의 차별화 270
[표 5-14] 국제기술협력유형 274
[표 5-15] 기술분야별 우선협력대상기관의 국가별 분포 275
[표 5-16] 협력방안별 우선협력대상기관의 국가별 분포 276
[표 5-17] 기술군의 분류 294
[표 5-18] PDP-IEC 기술 표준화 현황 (WG 4) 300
[표 5-19] LCD-IEC 소자기술 표준화현황 (WG 2) 300
[표 5-20] OLED-IEC 소자기술 표준화현황 301
[표 5-21] 기술활용 분야에 따른 장비 분류 322
[표 5-22] 장비유형별 분류 체계 323
[표 5-23] 최근 5년간(’03~‘07년) 주요 부처 연구장비관련 사업비 326
[표 5-24] 최근 5년(’03~‘07년)간 유형별 예산 투자 현황 327
[표 5-25] 최근 5년간(’03~’07년) 각 부처 연구장비관련 주요사업 및 유형분류 327
[표 5-26] 인프라 확충 및 운영을 지원하는 주요 사업의 목적 및 지원내용 331
[표 5-27] 기관유형별 연구장비 보유 현황 332
[표 5-28] 금액별 연구장비 보유 현황 333
[표 5-29] 지역별 연구장비 보유 현황 334
[표 5-30] 금액별 총보유장비수 대비 공동활용장비수 334
[표 5-31] 부처별 장비관련 사업 관리체계(현재) 336
[표 5-32] 국가사업을 통해 기 구축된 연구장비 및 시설 현황 355
[표 5-33] 용도별 장비 구축 현황 356
[표 5-34] 14개 분야별 내ㆍ외부사업을 통한 장비구축 현황 358
[표 5-35] 과기부의 기획연구를 통해 도출한 산업기술인프라의 특성 정리 362
[표 5-36] Solid NMR의 적용대상과 특성 364
[표 5-37] 대형연구장비의 도입필요 시기 분석 376
[표 5-38] 대형연구장비의 Life Cycle 분석 377
[표 5-39] 대형연구장비 구입 및 개발관련 주요 이슈 379
[표 5-40] 기타 산업기술 인프라 장비 및 필요성 380
[표 5-41] 분야별 수요조사 결과 383
[그림 1-1] 디스플레이의 역사 17
[그림 1-2] 디스플레이의 분류 18
[그림 1-3] 국가별 세계시장 점유율[‘05] 19
[그림 1-4] 디스플레이장비 산업의 개념도 21
[그림 1-5] 제품별 주요 장비군 23
[그림 1-6] 디스플레이 장비로드맵 작성범위 23
[그림 1-7] 위원회 구성 25
[그림 2-1] 디스플레이 세계 시장 규모 27
[그림 2-2] 국가별 장비시장 규모 28
[그림 2-3] 크리스탈 사이클 29
[그림 2-4] 연도별 유리기판 크기 변화 30
[그림 2-5] 각국의 디스플레이 산업 현황 31
[그림 2-6] 국가별 장비시장 투자규모 31
[그림 2-7] 세계 디스플레이 실적 및 전망 34
[그림 2-8] 기술별 디스플레이 시장 전망 35
[그림 2-9] 패널 메이커별 시장 전망 37
[그림 2-10] 국가별 장비시장 현황 및 전망 39
[그림 2-11] 디스플레이 장비 산업의 연도별 특허동향 44
[그림 2-12] 국가별 기술력 지수[미국등록특허] 45
[그림 2-13] 국가별 역점 분야[미국등록특허 기준] 46
[그림 2-14] 디스플레이 장비산업 경쟁 패러다임의 변화도 47
[그림 2-15] 기술 경쟁력 패러다임의 변화 48
[그림 2-16] 디스플레이 장비 기술격차 비교 48
[그림 2-17] 시장 경쟁력 패러다임의 변화 49
[그림 2-18] 국내 장비 산업의 구조 및 공급현황 51
[그림 2-19] 연도별 국산 LCD 장비의 세계시장 점유율 52
[그림 2-20] TFT 어레이 노광기 생산업체별 시장 점유현황 66
[그림 2-21] CF 어레이용 노광기 생산업체별 시장 점유현황 66
[그림 2-22] PECVD 생산업체별 시장 점유현황 69
[그림 2-23] Sputter 생산업체별 시장 점유현황 69
[그림 2-24] TFT-LCD 장비 공급구조 현황 75
[그림 2-25] TFT-LCD 어레이장비 국산화율 현황 76
[그림 2-26] TFT-LCD 액정 공정장비 국산화율 현황 77
[그림 2-27] 전ㆍ후방 산업 간 연관 관계[LCD산업] 84
[그림 2-28] 국내 LCD 산업기업간 관계 85
[그림 2-29] 디스플레이 산업의 혁신네트워크 및 협력 정도 90
[그림 2-30] SWOT 분석 및 당면과제 91
[그림 2-31] 현재와 미래의 디스플레이 장비 전개 양상 95
[그림 2-32] 디스플레이장비 산업의 매크로 기술로드맵 98
[그림 3-1] TFT-LCD 제조 공정 99
[그림 3-2] TFT-LCD 제조 공정[전 공정-C/F] 101
[그림 3-3] TFT-LCD 제조 공정[전 공정-액정] 102
[그림 3-4] TFT-LCD 제조 공정[후 공정] 103
[그림 3-5] PDP 제조 공정 106
[그림 3-6] PDP 공정별 장비 분류 107
[그림 3-7] OLED 제조 공정 109
[그림 3-8] 플렉시블 디스플레이 제조 공정 112
[그림 3-9] Killer Application 선정기준 113
[그림 3-10] Killer Application 선정 114
[그림 3-11] TFT-LCD[대형] 디바이스 로드맵 115
[그림 3-12] TFT-LCD[대형] 공정 로드맵 116
[그림 3-13] AMOLED 디바이스 로드맵 117
[그림 3-14] AMOLED용 공정 로드맵 117
[그림 3-15] 플렉시블 디스플레이 개발 로드맵 118
[그림 3-16] 근접 노광기[C/F 평행광 노광기] 127
[그림 3-17] 마스크리스 노광기[PDP용 마스크리스 노광기] 128
[그림 3-18] Dry Etcher 시스템 132
[그림 3-19] 대기압 플라즈마 방전 사진 134
[그림 3-20] 대기압 Plasma를 이용한 Etching 결과 분석 [SEM] 134
[그림 3-21] 대기압 Plasma Ashing 후 scum 제거 결과 분석 [SEM] 135
[그림 3-22] 대기압 Plasma Asher 장비 135
[그림 3-23] 대기압 Plasma 처리 후 표면 접촉각 측정 결과 분석 136
[그림 3-24] Plasma Cleaning 원리 137
[그림 3-25] 대기압 Plasma 처리 후 표면 유기물 제거 정도 분석 [XPS] 137
[그림 3-26] 대기압 Plasma CVD 결과 [Photo-Graph] 138
[그림 3-27] 대기압 Plasma CVD 결과 분석 [SEM] 138
[그림 3-28] 대기압 플라즈마 Shower Type Head 140
[그림 3-29] 대기압 플라즈마 Pin Type Remote Head 기술 141
[그림 3-30] 수직 정지형 Sputtering 시스템의 내부 모식도 145
[그림 3-31] Sputtering 기법의 기본 구조 146
[그림 3-32] Gate Valve 147
[그림 3-33] PECVD Process Module 조립도 147
[그림 3-34] LCD PECVD 장비 개념도 148
[그림 3-35] 레이져 결정화 장비 기본 개념 152
[그림 3-36] 엑시머 레이저 결정화 장비의 기본개념도 153
[그림 3-37] 제품/기술의 Life Cycle 157
[그림 3-38] A-1 Life Cycle 158
[그림 3-39] A-2 Life Cycle 158
[그림 3-40] A-3Life Cycle 159
[그림 3-41] A-4 Life Cycle 159
[그림 4-42] A-5 Life Cycle 160
[그림 4-43] A-6 Life Cycle 160
[그림 3-44] 디스플레이장비 산업의 시장포트폴리오 161
[그림 3-45] 디스플레이장비 산업의 기술포트폴리오 161
[그림 3-46] 디스플레이장비 산업의 전략적 포트폴리오 162
[그림 4-1] 디스플레이 소자 특성 대응 융합장비의 개념도 165
[그림 4-2] Sputter 설비의 개념도 166
[그림 4-3] PECVD 설비의 개념도 167
[그림 4-4] 유기증착기 설비의 개념도 167
[그림 4-5] 소성 건조로 설비의 개념도 168
[그림 4-6] 소성 건조로 설비의 사례 168
[그림 4-7] 성막기술 마이크로로드맵 173
[그림 4-8] 성막기술 마이크로로드맵 174
[그림 4-9] 열처리기술 175
[그림 4-10] 공정단순화 및 클러스터 장비의 개념도 176
[그림 4-11] 건식 세정 장비의 개념도 176
[그림 4-12] 건식 식각 장비의 개념도 177
[그림 4-13] 검사, repair 장비의 개념도 178
[그림 4-14] 식각기술 마이크로로드맵 183
[그림 4-15] 검사기술 마이크로로드맵 184
[그림 4-16] Repair기술 마이크로로드맵 185
[그림 4-17] 미세선폭가공장비의 개념도 186
[그림 4-18] Maskless노광의 개념도 187
[그림 4-19] LTPS용 projection 노광의 개념도 189
[그림 4-20] LTPS용 projection 노광기의 개념도 190
[그림 4-21] Inkjet 프린터 장비의 개념도 190
[그림 4-22] Inkjet 프린터의 개념도 191
[그림 4-23] Inkjet Head의 종류 192
[그림 4-24] 일반적인 Head 구동 전압 형태 192
[그림 4-25] Roll 프린터의 개념도 194
[그림 4-26] Direct Writing의 개념도 195
[그림 4-27] Direct Writing 장비의 개념도 196
[그림 4-28] 미세선폭 가공기술 마이크로 로드맵 205
[그림 4-29] Inkjet 장비 마이크로 로드맵 206
[그림 4-30] 미세패턴 가공장비 마이크로 로드맵 207
[그림 4-31] 미세선폭가공기술 마이크로 로드맵 208
[그림 4-32] 고정세 신공정 핵심원천 장비의 개념도 209
[그림 4-33] UC Berkeley 대학 연구팀의 대면적 플라즈마 연구개발 장치 210
[그림 4-34] UCLA 대학 연구팀의 대면적 플라즈마 연구개발 장치 210
[그림 4-35] Wisconsin 대학 연구팀의 대면적 플라즈마 연구개발 장치 211
[그림 4-36] Nagoya 대학 연구팀의 대면적 플라즈마 연구개발 장치 211
[그림 4-37] Osaka 대학 연구팀의 대면적 플라즈마 연구개발 장치 211
[그림 4-38] APPLD 설비의 개념도 212
[그림 4-39] APPLD 장치의 roll-to-roll 공정 적용 예 212
[그림 4-40] 원형 전극을 이용한 대기압 플라즈마 화학기상 증착 장치 213
[그림 4-41] 대기압 플라즈마를 이용한 식각장치 모식도 214
[그림 4-42] Slot antenna를 이용한 대기압 플라즈마 화학기상 증착 장치 214
[그림 4-43] Cylinder rotary electrode를 사용한 대기압 플라즈마 화학기상 증착 장치 215
[그림 4-44] 플라즈마 분사 노즐을 이용한 대기압 플라즈마 화학기상 증착 장치 215
[그림 4-45] 나노임프린팅 기술 모식도 216
[그림 4-46] 나노임프린트 리소그래피를 이용하여 제작된 패턴 218
[그림 4-47] 디스플레이 부품으로의 적용 : Grid Patterned Polarizer 218
[그림 4-48] 국내 NIL 장비 업체인 NND의 임프린트 장비 218
[그림 4-49] 상용화된 외국의 임프린트 장비 219
[그림 4-50] 고정세 신공정 핵심원천장비개발 마이크로 로드맵 224
[그림 5-1] 비전 및 실행 목표 230
[그림 5-2] 충남 디스플레이산업의 주요 현황 231
[그림 5-3] 충남 디스플레이산업의 전후방 연계사슬 232
[그림 5-4] 충남 디스플레이산업 관련 산업단지 현황 및 조성계획 237
[그림 5-5] 충남 디스플레이 클러스터 형성도[안] 238
[그림 5-6] 광주 광산업의 주요현황 244
[그림 5-7] 광주지역 산업단지 위치도 및 연구기관 집적현황 248
[그림 5-8] 디스플레이관련 주력 품목구성도 252
[그림 5-9] 구미지역 디스플레이산업 전후방연계사슬 252
[그림 5-10] 지역 기업들의 애로사항 255
[그림 5-11] 네트워크 구축 방안 256
[그림 5-12] 디스플레이산업 기술포트폴리오 259
[그림 5-13] 디스플레이산업 기술포트폴리오 260
[그림 5-14] 기술역량 강화를 위한 연계방안 261
[그림 5-15] 작성 방법 281
[그림 5-16] 2006년 산업기술로드맵 추진 방향 및 인프라 로드맵의 위상 309
[그림 5-17] 인프라 로드맵 추진 체제 310
[그림 5-18] 인프라 로드맵 구조 314
[그림 5-19] 산업기술인프라의 연구장비 및 시설의 유형 319
[그림 5-20] 연도별 연구장비 공동활용 현황 335
[그림 5-21] 장비 예약ㆍ승인 시스템 개선 체계도 337
[그림 5-22] 인프라넷을 통한 산업-지역별 인프라의 산학연 연계 개념도 338
[그림 5-23] 산업자원부가 운영하는 인프라맵(Infra-Map) 339
[그림 5-24] 내부 순환구조(inner loop) 341
[그림 5-25] 융합화, 복합화에 대한 연구추진체계의 변화 343
[그림 5-26] 14개 분야별 장비 분포 : 구축장비 건수 대비 356
[그림 5-27] 14개 분야별 장비 분포 : 해당장비구입 비용 대비 357
[그림 5-28] 과기부의 기획연구 중 대형연구장비 도출 Process 360