목차
1. 서론 1
2. 본론 1
2.1. 박막전지의 구조 및 원리 1
2.2. 박막전지용 양극소재 2
2.3. 박막전지용 음극소재 3
2.4. 3차원 구조의 박막전지 5
3. 결론 8
참고문헌 8
Fig. 1. 리튬 이온 전지의 충방전 모식도. 1
Fig. 2. 박막전지의 구조. 2
Fig. 3. RF sputtering법으로 증착 된 LiCoO₂ 양극 박막의 방전 특성. 2
Fig. 4. RF sputtering법으로 증착 된 LiMn₂O₄의 충방전 곡선. 2
Fig. 5. PLD법으로 증착 된 LiNi0.8Co0.15Al0.05O2 양극 박막의 방전 특성. 3
Fig. 6. 3성분계의 조성과 조성에 따른 특징 3
Fig. 7. 리튬 이차 전지용 전극 재료의 전위와 용량 3
Fig. 8. 충방전 과정 전의 (a) 실리콘 박막 전극과 (b) 필러 구조를 가지는 실리콘 박막 전극, 충방전 과정 후의 (d) 실리콘 박막 전극과 (e) 필러 구조를 가지는 실리콘 박막 전극. 4
Fig. 9. 경사각 형태의 실리콘 박막의 모식도와 그의 충방전 특성. 4
Fig. 10. 그래핀과 MnO₂ 적층 구조의 모식도. 5
Fig. 11. (a) 2차원 구조의 박막전지와 (b) 3차원 기둥 구조의 박막전지의 모식도. 5
Fig. 12. 3차원 엠보싱 구조 공정 모식도. 5
Fig. 13. 화학적 방법을 통하여 제작된 Li-Mn-O 양극 박막의 모습. 5
Fig. 14. micro-machining법을 이용하여 실리콘 어레이를 제작 후 전극 물질을 증착하여 3차원의 전극을 얻는 방법. 6
Fig. 15. Fig. 14의 공정을 통하여 얻어진 3차원 구조의 기둥형박막 전극. 6
Fig. 16. Honeycomb 구조를 사용하여 제작 된 3차원 구조의 박막 전지의 SEM 사진과 전기적 특성. 7
Fig. 17. 미세한 그리드 형태의 구조를 갖는 박막전지의 제조 과정 및 구현 된 투명박막전지. 7
Fig. 18. ALS법으로 성장 된 Si nanowire를 기판으로 한 나노 선전지 7
Fig. 19. AAO 기판을 이용하여 제작한 기둥 형태의 몰드에 양극, 전해질, 음극을 채워 넣어 만든 나노 선 전지 7