목차
1. 서론 1
2. 박막 열전소재 연구동향 2
3. 박막 열전소자 개발동향 4
3.1. 박막과 벌크 열전소자의 비교 4
3.2. 박막 열전소자의 기술동향 5
4. 맺음말 6
참고문헌 7
Table 1. 현재 상용화 된 열전 냉각소자 및 최대 냉각능 6
Fig. 1. 박막과 벌크 열전모듈의 크기 비교. 박막 열전 냉각소자가 적용 된 LED칩의 냉각능 (독일 Micropelt). 2
Fig. 2. co-sputtering 방법으로 증착 된 Bi₂Te₃ 박막의 주사전자현미경 사진 3
Fig. 3. 스크린 프린팅 공정기법에 의해 증착 된 열전박막의 주사전자현미경 사진 및 열전특성 3
Fig. 4. MOCVD로 성장한 Bi₂Te₃/Sb₂Te₃ 초격자 박막의 표면형상, 전자현미경이미지 및 power factor. 4
Fig. 5. 박막 열전 냉각소자와 벌크소자의 성능 비교. 4
Fig. 6. 한국과학기술연구원에서 개발한 ~200μW 급 수평 박막형 열전 발전소자. 5
Fig. 7. MIT에서 개발한 태양광을 이용한 열전 발전소자 5
Fig. 8. 유연 열전 발전소자의 활용 범위. 6
Fig. 9. 유연 열전소자의 모습 (a) C. Hierold 그룹에서 구현한 유연 열전소자, (b) Y. -C. Hu 그룹의 롤 형태의 유연 열전소자, (c)영국 cardiff 대학에서 만든 유연 열전소자 모습 7