목차
1. 서론 1
2. 본론 1
2.1. STEM 이미징 1
2.2. STEM의 분해능 4
2.3. 구면수차보정기 4
2.4. STEM 이미징의 종류 6
(1) Bright Field, Annular Bright Field 6
(2) Low Angle Annular Dark Field 7
(3) High Angle Annular Dark Field 7
2.5. 연구사례 8
(1) Au Nanocrystal Structure on the Surface 8
(2) Atomic Defects in Olivine Structured Oxides 9
3. 결론 9
참고문헌 10
Fig. 1. 구면수차를가지는 경우의 Shadow (point-projection) 이미지의 모식도. 2
Fig. 2. SrTiO₃에서 Sr, Ti, O의 elastic scattering과 TDS에 의한 inelastic scattering의 산란 기여도. 3
Fig. 3. 구면수차와 회절수차에 따른 probe 분해능의 영향. 4
Fig. 4. 수차보정된 STEM의 모식도. 5
Fig. 5. 구면수차 보정 전(a)과 후(b)의 STEM에서의 Ronchigram. 5
Fig. 6. 구면 수차 보정 전후의 집속빔 intensity 계산 결과. 6
Fig. 7. Bright Field STEM 이미지의 원리와 예. 6
Fig. 8. Annular Bright Field STEM 의 원리와 그 예. 7
Fig. 9. YH₂ 소재에서의 수소이온 관찰 결과. 7
Fig. 10. Low angle annular dark field STEM을 이용한 SrTiO₃ 분석결과 (위) 산소공공에 의한 (아래) strain에 의한 dechanneling 효과. 7
Fig. 11. Low angle annular dark field STEM을 활용한 Cl16CuPc의 원자이미지. 8
Fig. 12. High angle annular dark field STEM을 이용한 SrTiO₃, Sr2FeReO6 페롭스카이트 산화물의 Z-contrast 이미지. 8
Fig. 13. (a)~(e) Au 나노입자의 HAADF STEM 이미지. 8
Fig. 14. 제일원리계산에 의해 모델링된 TiO₂ (110) 표면 위의 (a) two atomic-layer Au와 (b) nine atomic layer Au의 relaxed된 원자구조. 9
Fig. 15. (a) LiFePO₄와 (b) LiMnPO₄의 HAADF STEM 이미지. Inset은 maximum entropy 법에 의해 deconvolution된 확대 이미지. 9