목차
1. 서론 1
2. 전력소자 및 LED용 단결정 성장기술 발전과정 2
2.1. 응고법 2
2.2. 용해법 (solvothermal technique) 3
2.3. 기상법 (vapor phase epitaxy) 3
3. Ammonothermal법의 이론적인 고찰 3
3.1. 물리화학적 고찰과 ammonothermal 역학 3
3.2. 용해도와 결정화 동력학 4
3.3. 용해도의 열역학적 고찰 5
4. Ammonothermal법에 의한 GaN 단결정 성장기술 6
4.1. 기초 이론 6
4.2. Ammonothermal법 단결정 성장의 3요소 7
4.2.1. 용해 (Dissolution) 7
4.2.2. 이송 (Transport) 8
4.2.3. 결정 성장 (Growth) 8
5. 맺음말 9
참고문헌 9
Fig. 1. 물질의 상태도. 7
Fig. 2. Ammonothermal 장비 및 성장 모식도. 7
Fig. 3. Baffle의 모식도. 8
Fig. 4. 내외부 온도 보정 데이터. 8
Fig. 5. Ammonothermal법으로 성장한 질화물 단결정. 9