목차
1. 단결정성장용 AlN 분말 개요 1
2. AlN 분말 제조 방법 2
2.1. 열탄소환원법 2
2.2. SHS법 (Self Propagating High Temperature Method) 2
2.3. 화학기상합성법 (Chemical Vapor Synthesis) 2
2.4. 플라즈마합성법 3
3. 고순도 AlN 분말 시장 현황 3
4. PVT 방법을 이용한 AlN 단결정 성장 현황 3
5. PVT 방법을 이용한 AlN 단결정 품질 분석 4
6. 결론 5
참고문헌 5
Table 1. AlN 분말 시장 규모 3
Table 2. 상용화된 AlN 분말의 분석 결과 4
Fig. 1. AlN 분말과 PVT 방법으로 제조한 2 인치 단결정 및 UV LED 기판으로 응용. 1
Fig. 2. 상용화된 AlN 분말 및 Granule 입도 및 SEM 사진. 4
Fig. 3. AlN 단결정 성장용 TaC crucible 및 TaC in graphite jarket. 4
Fig. 4. PVT 방법으로 성장시킨 AlN 단결정 및 웨이퍼. 5
Fig. 5. PVT 방법으로 성장시킨 2인치 AlN 웨이퍼의 X-ray rocking curve. 5