목차
이동도 관점에서의 산화물 TFT 4
신뢰성 관점의 산화물 TFT 6
참고문헌 11
Fig. 1. OLED 디스플레이의 장점. 1
Fig. 2. SID 2013에서 발표된 다양한 디스플레이들 (좌) : LG Display UHD OLED Curved TV (우) : Samsung Display UHD OLED TV. 2
Fig. 3. 산화물 반도체의 장점. 2
Fig. 4. 산화물반도체의 오비탈구조 (좌) : 결정질 구조, (우) : 비정질 구조. 3
Fig. 5. 각 전이금속의 성분비에 따른 소자의 이동도와 캐리어 농도의 비교. 3
Fig. 6. 주기율표 중 일부분 (파란색 : 현재 산화물 반도체에 사용하는 대표적인 원소, 빨간색 : In혹은 Ga를 대체할 원소) 4
Fig. 7. OLED픽셀 내의 여러 보상 회로들(삼성 디스플레이, 5T2C). 4
Fig. 8. (좌) : IZO소자의 NBITS신뢰성 커브. (우) : HIZO/IZO적층 소자의 NBITS신뢰성 커브.(조건 : 스트레스 시간 : 3시간 VG = -20V, VD = 10V, 빛의 세기 : 120lux, 온도 : 60℃). 5
Fig. 9. (좌) : ZnO와 ZnON의 밴드구조 및 광 신뢰성 그래프. (우) ZnO, ZnON, In₂O₃, Zn₂O₃의 E-k 그림. 6
Fig. 10. LCD 구동회로와 OLED의 이상적인 구동회로. 6
Fig. 11. 반도체 적층구조와 신뢰성을 높이기 위한 패시베이션/게이트 인슐레이터의 조건. 7
Fig. 12. 양/음 의 전압에 따른 반도체층과 외기(O₂, H₂O)와의 반응 도식표. 7
Fig. 13. (a) : 음의 전압을 가하였을 때의(NBS, Negative Bias Stress) 소자 A의 신뢰성 커브 (b) : 소자 B의 NBS커브 (c) : 음의 전압과 빛을 동시에 가하였을 때의(NBIS)소자의 신뢰성 커브 (d) : 소자 B의 NBIS커브 8
Fig. 14. 신뢰성 분석 방법 개요도. 8
Fig. 15. (좌) : ZnO소자의 NBS 테스트 (스트레스 시간 : 1시간, 회복시간 : 15분). (우) : IZO소자의 NBS 테스트 (진공 : 2×10-5torr, 스트레스 시간 : 3시간). 9
Fig. 16. (a): On상태/빛이 없을 때의 신뢰성 커브 (b) : On상태/빛이 있을 때의 신뢰성 커브 (c) : Off상태/빛이 없을 때의 신뢰성 커브 (d) : Off상태/빛이 있을 때의 신뢰성 커브. 9
Fig. 17. (좌) : GIZO소자의 NBTS 측정 그래프 (우) : GIZO의 PBTS 측정 그래프.28)(VG = -10V/+20V, VD = 10.1V, 스트레스 시간 : 11000초). 10
Fig. 19. (좌) : BCE(Back-Channel Ecth)형태의 GIZO소자의 NBITS 신뢰성 커브. (우) : ES(Etch-Stopper)형태의 GIZO소자의 NBITS 신뢰성 커브. 11