목차
1. 서론 1
2. 적외선 검출기의 종류와 특징 1
3. 비냉각형 열상 이미지 센서 3
4. 마이크로볼로미터 열영상 소자 4
5. 결언 8
참고문헌 9
Table 1. 적외선 검출기 개발 역사 3
Fig. 1. 대기창의 복사에 의한 파장에 따른 적외선 영역의 광스펙트럼 차트. 2
Fig. 2. 320x240 BSCT 적외선 검출소자의 구조 및 구현된 열영상. 4
Fig. 3. 저가의 단소자 및 어레이 형태의 열전쌍 적외선 센서. 4
Fig. 4. 마이크로볼로미터 소자 구조 및 단면도. 5
Fig. 5. Fill factor 향상을 위한 2-층 구조의 우산형태의 볼로미터 소자. 5
Fig. 6. VO₂의 metal-insulator 상 전이. 5
Fig. 7. VWOx 마이크로볼로미터의 열저항 곡선(a) 및 이를 이용한 32x32 어레이 소자(b). 5
Fig. 8. RF Sputtering에 의한 VOx/ZnO/VOx 다층박막의 열처리에 의한 열저항 곡선 및 XRD 스펙트럼(입사각 ω=3˚). 6
Fig. 9. 산소 열처리된 VOx/ZnO/VOx 다층박막의 grazing incidence 각도변화에 따른 XRD 스펙트럼. 6
Fig. 10. 표면 MEMS 공정에 의한 마이크로볼로미터 소자 공정순서도. 6
Fig. 11. VOx/ZnO/VOx 마이크로볼로미터 단위소자의 SEM 사진(a)과 어레이소자의 광학 현미경 사진(b). 7
Fig. 12. VOx/ZnO/VOx 볼로미터 소자의 반응도 및 탐지도 특성. 7
Fig. 13. 마이크로볼로미터 적외선 검출기의 wafer-level vacuum package 공정도. 8
Fig. 14. 웨이퍼레벨 진공패키지 및 이를 이용한 열영상 구현. 8
Fig. 15. Chip-scale 광학계 및 웨이퍼레벨 진공패키지된 thermal imager. 8