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[표지]

연구결과 요약문

목차

1. 연구개발과제의 개요 4

2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 5

1. 1차연도 : 2차원 층상구조 반도체 물질을 이용한 수직형 소자 구현 및 전기적 특성화 5

(1) 수직형 소자 제작을 위한 공정 최적화 5

(2) WSe₂ 채널의 p-, n-타입 거동 전하 제어 및 특성 검증 6

(3) 수직형 소자 구현 및 특성 확인 7

(4) 층상구조 반도체에서의 온도에 따른 전하의 수직 방향 거동 특성 분석 7

2. 2차연도 : 수직형 소자의 특성 제어를 위한 수직형 소자 구조 최적화 8

(1) 두 타입(n-, p-)에 대한 전도성 채널 제어를 위한 접촉 금속 전극 특성 평가 8

(2) 최적화된 금속 전극을 이용한 수직형 소자 구조 구현 8

(3) 면내 이방성 수송 특성을 갖는 2차원 층상구조 물질 스터디 및 기초 특성 확인 9

3. 3차연도 : 면내 이방성(in-plane anisotropy)을 가지는 2차원 물질 합성 및 공정 개발 10

(1) 대면적향 액상 기반의 2차원 층상구조 물질의 성장 방법 최적화 10

(2) 같은 flake 내의 이방성의 소자 제작 및 상온에서의 이방성 수송 특성 분석 10

(3) 신뢰성 평가를 위한 2차원 채널 소자에서의 발열 특성 매핑 시스템 최적화 12

4. 4차연도 : 이방성 수송 특성의 등가 모델링 및 계면 처리에 따른 성능 개선 12

(1) 2차원 반도체 소자에서 과도 전류 해석을 통한 채널-계면 특성의 정량적 분석 12

(2) 온도에 따른 Te 소자의 축별 전기적 특성 상세 분석 연구 13

3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 14

1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) 14

(1) 단층 2차원 전이금속 반도체 트랜지스터에서의 계면 특성 및 성능에 미치는 영향성에 대한 상세한 분석 - 전사에 따른 버블을 제거하기 위한 열처리(annealing) 효과 및 계면 모델링 14

(2) 다층의 물질을 이용한 더블 게이트 전계 효과 트랜지스터 구조에서 온도에 따른 전하의 수평, 수직 방향의 거동 특성 분석 15

(3) 2차원 층상구조 반도체 물질의 두께에 따른 더블 게이트 전계 효과 트랜지스터의 특성 변화 분석 - 두께에 따른 유효 전도성 채널의 변이 15

(4) 신뢰성 평가를 위한 2차원 채널 소자에서의 발열 특성 매핑 시스템 최적화 16

(5) 2차원 소자에 온도에 따른 과도 전류 특성 분석의 의한 활성화 트랩 에너지의 정량화 16

2) 세부 정량적 연구개발성과 : [붙임1] 참조 17

3) 목표 달성 수준 17

4) 목표 미달 시 원인 분석 17

4-1) 목표 미달 원인(사유) 자체분석 내용 17

4-2) 자체 보완활동 17

4-3) 연구개발 과정의 성실성 18

4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) 18

5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 18

6. 자체점검표 19

7. 참고문헌 19

붙임 20

1. 세부 정량적 연구개발성과 20

2-1. 연구책임자(해당 시 참여연구자(공동) 포함) 대표적 연구실적 21

2-2. 주관연구책임자(해당 시 참여연구자(공동) 포함) 대표적 논문·특허실적 요약문 22

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