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[표지]

연구결과 요약문

목차

1. 연구개발과제의 개요 4

연구의 최종목표 4

세부 연구목표 4

연구의 필요성 4

2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 5

연구내용 - VO₂ 박막의 TCR(temperature coefficient of resistance) 5

연구내용 - VO₂ 센서소자 제작을 위한 패터닝 공정 개발 5

연구내용 - VO₂ 전사인쇄 공정 개발 6

연구내용 - VO₂ 박막의 TCR 측정 셋업 및 특성 향상 연구 7

연구내용 - VO2 박막 적외선 대역 투과율 측정 8

연구내용 - 대면적 VO₂ 박막 전사 및 소자 제작공정 개발 8

VO₂ 상변화에 따른 이차원 소재의 포논 변화 관찰 9

광센서 측정 시스템 구축 및 IGZO 소자를 통한 효용성 test 9

이산화바나듐 박막 대면적 roll-to-roll 공정 10

신축성을 갖는 이산화바나듐 박막 소재 개발 10

3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 11

1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) 11

2) 세부 정량적 연구개발성과 : [붙임 1] 참조 12

3) 목표 달성 수준 12

4) 목표 미달 시 원인 분석(해당 시) 12

4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) 13

과학기술적 측면 13

경제/산업적 측면 13

5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 13

연구개발성과 활용분야 및 활용방안 13

추가연구의 필요성 13

기술이전 모색 13

6. 자체점검표 14

7. 참고문헌 14

붙임 15

1. 세부 정량적 연구개발성과 15

2-1. 연구책임자(해당 시 참여연구자(공동) 포함) 대표적 연구실적 17

2-2. 주관연구책임자(해당 시 참여연구자(공동) 포함) 대표적 논문·특허실적 요약문 18