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[표지]

연구결과 요약문

목차

1. 연구개발과제의 개요 4

1.1. 연구 목표 4

1.2. 연구 내용 및 범위 4

나노 구조(0D, 2D)를 이용한 단층/다층 전하트랩 구현 4

나노 구조(0D, 2D)와 계면 전하트랩 에너지 준위 측정 및 밀도 분석 4

물리소자 응용 : 전하트랩 트랜지스터 소자, 에너지 소자 구현 및 성능평가 5

2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 6

양자 터널링 전하트랩층 구현 6

터널링 거동 분석 및 계면 포텐셜 장벽측정 6

물리 소자, 에너지 소자 연구 8

에너지 소자 연구 8

물리 소자응용 : 전하트랩 트랜지스터 구현 및 물성탐구 10

3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 11

1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) 11

2) 세부 정량적 연구개발성과 : [붙임1] 참조 11

3) 목표 달성 수준 11

4) 목표 미달 시 원인 분석 12

4-1) 목표 미달 원인(사유) 자체분석 내용 12

4-2) 자체 보완활동 12

4-3) 연구개발 과정의 성실성 12

4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) 12

연구개발결과의 중요성 12

학술 가치 창출(나노구조기반 트랩, 계면 트랩, 이론-실험 검증) 12

미래 소자 기초 기술 확보(미래 반도체 소자 양자 터널링 TFET) 12

인재 육성(대학 인력 및 산업 인력) 12

5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 13

6. 자체점검표 13

7. 참고문헌[내용없음] 13

붙임 14

1. 세부 정량적 연구개발성과 14

2-1. 연구책임자(해당 시 참여연구자(공동) 포함) 대표적 연구실적 16

2-2. 주관연구책임자(해당 시 참여연구자(공동) 포함) 대표적 논문·특허실적 요약문 17

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