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[표지]

연구결과 요약문

목차

1. 연구개발과제의 개요 4

가. 연구의 개요, 최종 목표 및 분야별 연구내용 4

2. 연구개발과제의 수행 과정 및 수행 내용 5

유리질 카본 박막 제작 5

유리질 카본 박막의 열분해 온도에 따른 전기전도성 분석 5

홀 효과(Hall effect)를 통한 유리질 카본 박막의 캐리어 농도 및 이동도 분석 5

라만분광법과 X선 광전자 분광법을 통한 유리질 카본의 구조적 화학적 특성 평가 6

투과전자현미경을 통한 유리질 카본의 나노 구조 분석 7

유리질 카본 압저항 기반의 인공와우 센서 디자인 7

C-MEMS 기반 유리질 탄소 압저항 인공와우 센서 제작 기술 개발 8

SU-8 캔틸레버 어레이 구조체의 기계적 특성평가 9

유리질탄소 기반의 인공기저막의 스트레인 감도 평가 10

신호처리용 브릿지 회로 구성 및 인공와우 활용 가능성 평가 11

3. 연구개발과제의 수행 결과 및 목표 달성 수준 12

1) 정성적 연구개발성과(연구개발결과) 12

2) 세부 정량적 연구개발성과 : [붙임1] 참조 12

3) 목표 달성 수준 13

4. 연구개발성과의 관련 분야에 대한 기여 정도(연구개발결과의 중요성) 13

5. 연구개발성과의 관리 및 활용 계획 13

6. 자체점검표 14

7. 참고문헌 14

붙임 15

1. 세부 정량적 연구개발성과 15

2-1. 연구책임자 대표적 연구실적 18

2-2. 주관연구책임자 대표적 논문·특허실적 요약문 19

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