본문 바로가기 주메뉴 바로가기
22대 대한민국 국회 국회정보길라잡이 국회의원검색
회원가입 로그인
HOME

정보검색

소장정보 검색

국회도서관 홈으로 정보검색 소장정보 검색

결과 내 검색

동의어 포함

고급검색

인명/단체명

저자정보 상세정보
인명/단체명을 입력하세요.

키워드

  • 대표어

  • 외국어

-

목차보기

표제지

감사의 글

목차

요약 6

제 1 장 서론 10

제 2 장 RF 발생기 12

2.1 발진회로 13

2.1.1 발진의 기초 13

2.1.2 발진조건 13

2.1.3 이상(移相)발진회로 14

2.2 선형증폭기 19

2.2.1 원조 고효율 B급 푸시풀 증폭기 19

2.2.2 크로스오버 변형을 저감시키는 AB급 20

2.2.3 고효율화 : 스위칭 21

제 3 장 임피던스 정합 24

3.1 정합조건 24

제 4 장 실험장치 및 측정방법 27

4.1 RF 발생기 27

4.1.1 실험장치 27

4.2 오토 매쳐 32

4.2.1 실험장치 32

4.2.2 측정방법 33

제 5 장 실험결과 및 검토 36

5.1 RF 발생기 36

5.2 오토 매쳐 48

제 6 장 결론 58

1. 고효율 고주파 발생기(13.56MHz RF 발생기) 58

2. 속응자동정합기(오토 매쳐) 58

참고문헌 59

영문요약(Abstract) 60

그림목차

그림 2-1 RF 발생기의 구성 12

그림 2-2 발진의 개념 13

그림 2-3 발진회로의 모델 14

그림 2-4 CR 발진회로 15

그림 2-5 CR 단수가 다른 회로 17

그림 2-6 LC를 사용한 발진회로 18

그림 2-7 B급 푸시풀 회로(SEPP 회로)의 원리도 19

그림 2-8 A급 증폭기와 B급 증폭기의 효율 비교도 20

그림 2-9 AB급 푸시풀 회로의 원리도 21

그림 2-10 전원 전압 전환 방식에 의한 증폭기 23

그림 3-1 정합조건 25

그림 3-2 정합방법 26

그림 4-1 RF 발생기 실험 구성도 28

그림 4-2 기존 RF 발생기 회로도 30

그림 4-3 제안된 RF 발생기 회로도 31

그림 4-4 오토 매쳐 실험 구성도 33

그림 4-5 C₂ 가변형 오토 매쳐 34

그림 4-6 L 가변형 오토 매쳐 34

그림 5-1 SMPS 2차 측/100kHz 주파수 파형(TP1) 36

그림 5-2 SMPS 2차 측 DC 출력에 포함된 리플(TP2) 37

그림 5-3 RF 드라이브단의 파형(TP3) 38

그림 5-4 SOFT Start를 하고 있는 RF 출력 파형 39

그림 5-5 RF 출력 1250W에서의 파형(TP4) 40

그림 5-6 RF 출력이 펄스일 때 파형(TP4) 41

그림 5-7 RF 출력시 고조파 파형(TP4) 42

그림 5-8 VSWR 특성곡선(TP5) 43

그림 5-9 기존 RF 발생기 효율특성곡선 44

그림 5-10 제안된 RF 발생기 효율특성곡선 45

그림 5-11 두 제품의 효율특성곡선 비교 46

그림 5-12 C 가변형의 임피던스 스미스도 48

그림 5-13 L 가변형의 임피던스 스미스도 49

그림 5-14 C₁: MAX, L : MIN에서 V.I 파형 50

그림 5-15 C₁: MAX, L : MAX에서 V.I 파형 51

그림 5-16 C₁: MIN, L : MIN에서 V.I 파형 52

그림 5-17 C₁: MIN, L : MAX에서 V.I 파형 53

그림 5-18 L 가변형에서 정합 도면 54

그림 5-19 500mTorr에서 정합 파형 55

그림 5-20 C₂변형에서 C₁과 C₂의 위치값 변경에 따른 정합파형 56

그림 5-21 L 변형에서 C₁과 C₂의 위치값 변경에 따른 정합파형 57

사진목차

사진 4-1 기존 RF 발생기 30

사진 4-2 제안된 RF 발생기 31

사진 4-3 C₂가변형(좌)와 L가변형(우) 오토 매쳐 35

사진 4-4 오토 매쳐 측정장면 35

표목차

표 5-1 양 제품 사양비교 47

추천서가 (다양한 추천 자료를 만나보세요)

권호기사보기

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 기사목차

권호

기사명 원문보기 기사목차
닫기