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표제지

목차

국문요약 7

I. 서론 11

1.1. 연구 배경 11

1.2. TFT-LCD 제조공정 기술 14

가. TFT 어레이 공정 14

나. 컬러필터 공정 16

다. 셀 공정 18

라. 모듈 공정 21

1.3. 연구의 필요성 25

1.4. 연구의 목적 26

1.5. 논문의 구성 27

II. 재료제거 모델에 따른 연마재료 28

2.1. 셀 표면의 재료제거 모델 28

2.2. 연마제를 이용한 패드구성 34

2.2.1. 연마 재료 34

2.2.2. 연마 패드의 구성 37

III. 실험 및 고찰 41

3.1. 실험 설비 구성 41

3.2. 재료 제거력 실증적 고찰 46

3.2.1. 유기물 재료 제거 평가 48

3.2.2. 고착성 재료 제거 평가 50

3.2.3. 접착성 재료 제거 평가 52

IV. 결론 56

참고문헌 58

ABSTRACT 60

표목차

Table 1. 공정별 오염원 및 원인 발생가능성 비교 30

Table 2. 미립자 성분 이미지 33

Table 3. 연마제별 특성 비교표 35

Table 4. 레진별 특성 비교표 35

Table 5. 연마패드별 스크래치 검증결과 39

Table 6. 디스크 연마 세정장치 구성 42

Table 7. 세정장치 파라미터 47

그림목차

Fig. 1. LCD 세대별 기판크기 12

Fig. 2. TFT-LCD 입체 구조 13

Fig. 3. TFT-어레이 공정 14

Fig. 4. TFT 제조 공정 15

Fig. 5. 컬러필터 공정 16

Fig. 6. Black Resist & RGB 공정 17

Fig. 7. 셀 공정 18

Fig. 8. 배향막 인쇄-롤 코팅 19

Fig. 9. 액정 셀 조립 공정 21

Fig. 10. 모듈 공정 22

Fig. 11. 세정 공정 23

Fig. 12. 편광판 부착상태 23

Fig. 13. 탈포 공정 24

Fig. 14. 논문구성 다이어그램 27

Fig. 15. TFT-LCD 공정상 재료제거 소스분석 28

Fig. 16. 공정별 오염원의 발생 가능성 30

Fig. 17. 미립자 오염원별 발생비율 31

Fig. 18. 공정별 글라스 칩 유형 32

Fig. 19. 연마패드 모형 37

Fig. 20. 연마패드별 스크래치 검증 장치구성 38

Fig. 21. 글라스 스크래치 이미지 38

Fig. 22. 연마제별 실험용 연마패드 39

Fig. 23. 디스크 연마 세정장치 구조 41

Fig. 24. 셀 감지 센서 및 동작구성 43

Fig. 25. 연마패드 Groove의 유속분포 44

Fig. 26. 연마패드 Groove의 유압분포 45

Fig. 27. 실험용 연마패드구성 46

Fig. 28. 연마헤드부 장치구성 47

Fig. 29. 유기물 제거결과 49

Fig. 30. 회전속도에 따른 유기물 제거결과 50

Fig. 31. 고착성 미립자 제거결과 51

Fig. 32. 회전속도에 따른 고착물 제거결과 52

Fig. 33. 고착성 미립자 이미지 52

Fig. 34. 접착성 미립자 제거결과 53

Fig. 35. 회전속도에 따른 접착물 제거결과 54

Fig. 36. 접착성 미립자 이미지 55

초록보기

본 연구는 LCD모듈공정에서 편광판 부착 시 글라스에 붙어있는 고착 및 접착성 이물을 제거하기 위하여 디스크 연마패드를 이용한 물리적 세정방법에 대한 연구이다. 본 연구에 사용된 연마패드의 연마제로 산화알루미나, 산화지르코늄, 고순도탄화규소이며, 각각의 패드에 대하여 유기물, 고착성, 접착성 미립자의 세정력 평가를 하였다.

산화알루미나 패드의 미립자 제거력 실험에서는 유기물 제거율이 15%, 접착성은 40%, 고착성에서는 2%로 나타나 고착성에서는 거의 제거되지 않는 것으로 확인 되었다. 회전속도에 따른 유의차 분석 평가에서는 변화율이 13% 미만으로 변화가 크지 않았다.

산화지르코늄 패드는 유기물에 대한 제거율이 56%, 접착성은 57%, 고착성은 19%로 나타났다. 회전속도에 따른 유의차 평가에서 회전속도가 상승함에 유기물 제거율은 47% 상승하였지만, 접착성과 고착성 미립자의 제거율은 20% 미만으로 확인되었다.

고순도탄화규소 패드에서 유기물과 접착성 미립자 제거에서 100% 제거율로 나타났고, 고착성 미립자는 66%의 제거율을 보였으며, 3가지 연마패드 중 가장 좋은 세정력을 나타냈다. 회전속도에 따른 유의차 분석 평가에서 회전속도가 상승함에 따라 고착물 제거율은 60% 상승하였지만, 유기물과 접착성 미립자는 변화율이 20%로 확인되었다.

결론적으로 각각 3종의 연마패드에 대한 미립자 제거효율 비교연구를 통하여, 경도가 강한 연마제(고순도 탄화규소)에서 가장 우수한 세정효과가 나타남을 확인하였다. 또한, 고착성 미립자의 평가에서도 100%의 세정력 효과가 있을 수 있는 연마패드 개발 및 개선의 향후 과제가 남아있으며, 시장 다변화 요구에 따른 공정요구 개선에 맞추어 차세대 세정공정 및 장비개발에 기여할 것으로 기대한다.

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