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표제지

목차

제1장 서론 10

1.1. 연구 배경 10

1.2. 연구 동향 12

1.3. 연구 목적 13

제2장 이론 15

2.1. 정전기력에 의한 미립자 부착 이론 15

2.2. 정전기로 인한 장해 19

2.3. 정전기 장해에 대한 대책 22

2.4. 방사선발생장치에 대한 국내 기준 32

제3장 실험 조건 및 실험 장치 35

3.1. 실험 조건 35

3.2. 실험 장치 37

제4장 실험 방법 42

4.1. 측정 거리 42

4.2. 전하완화시간 측정 45

4.3. 잔류정전전압 측정 46

4.4. 이온전류 측정 48

4.5. 등가방사선량 측정 50

제5장 결과 및 고찰 52

5.1. 측정 거리별 전하완화 시간 특성 52

5.1.1. 광양자 에너지 10.5 keV인 연X선조사식 정전기 제거장치의 전하완화 시간 특성 52

5.1.2. 광양자 에너지 4.98 keV인 연X선조사식 정전기 제거장치의 전하완화 시간 특성 54

5.1.3. 광양자 에너지 10.5 keV 및 광양자 에너지 4.98 keV인 연X선조사식 정전기 제거장치의 전하완화시간 특성 비교 56

5.2. 기류방출을 이용한 경우의 전하완화 시간 특성 58

5.2.1. 수직거리에 대한 전하완화시간 실험 결과 58

5.2.2. 수평거리에 대한 전하완화시간 실험 결과 60

5.3. 거리별 잔류정전전압 특성 67

5.4. 이온전류 특성 69

5.5. 등가방사선량 특성 71

제6장 결론 75

참고문헌 78

Abstract 80

표목차

Table 1. Atomic law about dangerous human body by radiation. 33

그림목차

Fig. 1. Precipitation of charged/uncharged particle on the wafer set... 18

Fig. 2. Electrostatic eliminator using the corona electric discharge... 25

Fig. 3. Electrostatic eliminator using the corona electric discharge with fan. 26

Fig. 4. Particles deposited on a electrode. 27

Fig. 5. Pearl chain phenomena. 28

Fig. 6. Particle density for the corona discharge type ionizer. 29

Fig. 7. Particle density for the soft X-ray type ionizer. 30

Fig. 8. Soft X-ray ionizer. 31

Fig. 9. Soft X-ray(photon energy 4.98 keV) ionizer with compressed air. 38

Fig. 10. Air flow meter, air filter and regulator. 39

Fig. 11. Experimental chamber. 40

Fig. 12. Compressed air flux as a function of air pressure. 41

Fig. 13. Measurement point of soft X-ray(photon energy: 10.5 keV). 43

Fig. 14. Measurement point of soft X-ray(photon energy: 4.98 keV). 44

Fig. 15. Charged plate monitor(CPM). 47

Fig. 16. Ion-meter & test appearance for ion current in the experimental chamber. 49

Fig. 17. Equivalent dose survey meter & test appearance for equivalent... 51

Fig. 18. (±) Decay time characteristics of soft X-ray (photon energy:... 53

Fig. 19. (±) Decay time characteristics of soft X-ray(photon energy: 4.98keV). 55

Fig. 20. Decay time comparison between photon energy 10.5 keV soft... 57

Fig. 21. Decay time comparison between photon energy 10.5 keV soft... 59

Fig. 22. Decay time comparison between photon energy 10.5 keV soft... 62

Fig. 23. Decay time comparison between photon energy 10.5 keV soft... 63

Fig. 24. Decay time comparison between photon energy 10.5 keV soft... 64

Fig. 25. Decay time comparison between photon energy 10.5 keV soft... 65

Fig. 26. Decay time comparison between photon energy 10.5 keV soft... 66

Fig. 27. Ion balance characteristics of the soft X-ray devices. 68

Fig. 28. Ion current characteristics of the soft X-ray devices. 70

Fig. 29. Measurement results of equivalent dose. 73

Fig. 30. Measurement results between photon energy 4.98 keV soft X -ray... 74

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