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목차

국문초록 5

1. 서론 7

2. 이론 9

가. 초정밀 가공 기술의 특징 9

나. 초정밀 가공과 일반가공의 구분 11

다. 초정밀 가공의 제약조건 13

라. 연삭가공 이론 14

마. 연삭 방법 17

바. 연삭 작업 흐름도 19

사. 연삭가공 특성 20

아. 연성모드 / 취성모드 22

자. 최대 미변형 칩 두께 25

3. 실험 장비 27

가. 초정밀 가공장비 27

나. 비구면 폴리싱 가공기 29

다. 공구현미경 30

라. 다이아몬드 휠 31

마. Glassy Carbon 35

바. UA3P 36

4. 실험 방법 및 조건 38

가. 가공 순서 38

나. 연삭 가공시 표면 비교 40

다. 연성모드 연삭 조건 41

라. 성형용 Glassy Carbon 연삭 가공 44

마. 폴리싱 가공 44

바. 가공 조건별 가공면 관찰 45

1) Work Spindle제어에 따른 조도 변화 45

2) 절삭깊이 제어에 따른 조도변화 47

3) 이송속도제어에 따른 조도 변화 49

5. 결과 및 고찰 51

가. Glassy carbon 최적 가공 및 성형 51

나. 최적 가공조건 53

다. 가공 전후 휠 마모 검토 54

라. 가공 조건 55

6. 결론 56

참고문헌 57

Abstract 59

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