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국문요지

목차

제1장 서론 8

제2장 Interface 규약 11

2.1. Interface A, B, C 11

2.1.1. Interface A 11

2.1.2. Interface B 12

2.1.3. Interface C 12

2.2. Interface A의 배경 및 기대효과 14

2.3. EDA 규약의 중요 표준 17

2.3.1. E120 - Specification for Common Equipment Model(CEM) 17

2.3.2. SEMI E125 - Specification for Equipment Self Description 18

2.3.3. SEMI E132 - Specification for Equipment Client Authentication and Authorization 18

2.3.4. SEMI E134 - Specification for Data Collection Management 19

3장 UML 클래스 다이어그램을 이용한 EDA의 구성 20

3.1. E120의 UML 클래스 다이어그램 20

3.2. E125의 UML 클래스 다이어그램 22

3.3. E132의 UML 클래스 다이어그램 24

3.4. E134의 UML 클래스 다이어그램 27

제4장 결론 31

참고문헌 32

Abstract 34

표목차

표 2.1. 각 Interface 특징 13

그림목차

그림 2.1. SECS/GEM 데이터 사용 15

그림 2.2. EDA 데이터 사용 15

그림 2.3. EDA 표준 시나리오 16

그림 3.1. E120 UML 클래스 다이어그램 21

그림 3.2. E125 UML 클래스 다이어그램 22

그림 3.3. E132 SecurityAdmin UML 클래스 다이어그램 24

그림 3.4. E132 SessionManager UML 클래스 다이어그램 25

그림 3.5. E132 UML 클래스 다이어그램 26

그림 3.6. E134 DCM UML 클래스 다이어그램 27

그림 3.7. E134 DCPConsumer UML 클래스 다이어그램 28

그림 3.8. E134 UML 클래스 다이어그램 30

초록보기

 반도체 공정이 점차 미세화되고 웨이퍼 대구경화가 진행되며 반도체 장비 디자인, 프로세스의 복잡성이 진행되는 과정에서, 공정의 안정화를 위해 기존의 반도체 설비에서 수집된 데이터보다 더 많은 양의 데이터와 더 빠른 수집 주기를 필요로 하게 되었다. 이에 따라 기존에 보편적으로 사용되었던 SECS/GEM의 한계 때문에, 그 한계를 극복하기 위해 새로운 반도체 통신 프로토콜인 EDA의 표준 제정이 대두되었다. EDA 프로토콜에 의한 데이터 전송으로 기존의 SECS/GEM에서 사용하는 포트인 RS-232C와는 달리 TCP/IP상의 HTTP을 통해 SOAP내의 XML데이터를 통해 전달되기 때문에 고속 대용량 데이터 수집이 가능하게 되었다. 이러한 EDA프로토콜을 통해 장비구조 및 장비에서 발생되는 모든 사건을 데이터로 표현 할 수 있고, 장비 데이터를 활용하여 설비 Set-Up시간, 비용을 절감 할 수 있다. 실시간으로 데이터를 볼 수 있기 때문에 설비 문제 발생에 대한 추적, 예측 기능이 강화되어 더욱 정확한 설비 Data를 통한 성능, 수율, 품질을 향상 시킬 수 있다. 본 논문에서는 Interface규약에는 어떤 규약들이 존재하는지와 그 규약들에 대해 알아보고 그 중에서도 Interface A, EDA라고 칭하는 프로토콜이 어떻게 구성되어 있는지 UML 클래스 다이어그램을 통해 시각적으로 알아보았다.

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