학위논문
디지털트윈 컴퓨팅자원관리를 위한 SysML기반 사전검증체계 설계방안 [전자자료] : 반도체 FAB 훅업 작업 시 스크러버 설계 검증 및 이상 감지 사례 중심으로 = A SysML-based verification framework for digital twin simulation resource management : a case study on scrubber system verification during semiconductor FAB hook-up