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미소체적을 갖는 평판표시소자용 패널내부의 잔류가스 분석 / 조영래 ; 오재열 ; 최정옥 ; 김봉철 ; 이병교 ; 이진호 ; 조경익 1

요약 1

Abstract 1

1. 서론 1

2. 실험방법 2

2.1. 패널의 제작 및 게터활성화 2

2.2. 패널내부의 잔류가스 분석 3

3. 실험결과 및 토의 4

3.1. 패널 내부의 전체압력과 분압 5

3.2. 패널 내부에 불활성가스의 잔류원인 5

3.3. 활성가스의 반응 및 탄화수소의 생성원인 6

4. 결론 7

참고문헌 7

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
터보분자펌프 역류특성의 준정량적 평가 인상렬 ; 박미영 pp.1-8

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미소체적을 갖는 평판표시소자용 패널내부의 잔류가스 분석 조영래 外著 pp.9-15

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Ag₂CdSnSe₄ 및 Ag₂CdSnSe₄:Co²^+ 단결정의 광학적 특성 이충일 pp.16-21

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PAMBE를 사용하여 Si 기판 위에 성장된 AIN 박막의 결정성 분석 홍성의 外著 pp.22-26

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Al-1%Si 박막배선에서 엘렉트로마이그레이션 현상에 미치는 절연보호막 효과 김경수 ;김진영 pp.27-30

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건식 열산화로 성장시킨 SiO₂박막의 이차전자 방출 특성 정태원 外著 pp.31-36

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이온보조반응에 의한 금속과 불소계 고분자의 접착력 증진 한 성 外著 pp.37-43

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급속열처리산화법으로 형성시킨 SiO₂/나노결정 Si의 전기적 특성 연구 김 용 外著 pp.44-50

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CeO₂박막의 결정성 및 전기적 특성에 미치는 sputtering시 산소분압비의 영향 박상식 pp.51-56

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양극산화된 알루미나 주형 안에 CdS 나노선 배열의 전기화학적 제조 윤천호 ;정영리 pp.57-60

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졸겔 WO₃박막의 특성 이길동 pp.61-66

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MOCVD로 성장한 Zn-doped InGaN의 광특성 연구 이창명 外著 pp.67-71

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대화면/고화질 TFT-LCD 개발을 위하여 ELA 및 SMC로 제작된 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 화소 특성 비교 손명식 pp.72-80

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IN_0.0₃Ga_0.97_As/GaAs 에피층의 표면 광전압 특성에 관한 연구 최상수 ;김기홍 ;배인호 pp.81-86

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핵/껍질 구조를 가진 두 종류의 자기 나노입자의 제조와 특성비교 고영재 外著 pp.87-92

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표면원자구조 연구를 위한 초고진공 X-선 산란 장치 김효정 外著 pp.93-97

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AC-PDP의 휘도와 효율 향상을 위한 Dichroic Mirror의 응용에 관한 연구 송병무 外著 pp.98-103

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플라즈마 화학증착법으로 제조된 수소화된 비정질 탄화실리콘 박막의 물성에 대한 붕소의 도핑효과 김현철 ;이재신 pp.104-111

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축 방향으로 자화된 용량 결합형 RF 플라즈마의 특성 연구 이호준 外著 pp.112-118

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ECR-PECVD 방법으로 증착된 a-C:H 박막의 수소함량 측정 손영호 外著 pp.119-126

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참고문헌 (16건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

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번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 (Reference title not available) 미소장
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