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목차
미소체적을 갖는 평판표시소자용 패널내부의 잔류가스 분석 / 조영래 ; 오재열 ; 최정옥 ; 김봉철 ; 이병교 ; 이진호 ; 조경익 1
요약 1
Abstract 1
1. 서론 1
2. 실험방법 2
2.1. 패널의 제작 및 게터활성화 2
2.2. 패널내부의 잔류가스 분석 3
3. 실험결과 및 토의 4
3.1. 패널 내부의 전체압력과 분압 5
3.2. 패널 내부에 불활성가스의 잔류원인 5
3.3. 활성가스의 반응 및 탄화수소의 생성원인 6
4. 결론 7
참고문헌 7
번호 | 참고문헌 | 국회도서관 소장유무 |
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