본문 바로가기 주메뉴 바로가기
22대 대한민국 국회 국회정보길라잡이 국회의원검색
회원가입 로그인
HOME

정보검색

소장정보 검색

국회도서관 홈으로 정보검색 소장정보 검색

결과 내 검색

동의어 포함

고급검색

인명/단체명

저자정보 상세정보
인명/단체명을 입력하세요.

키워드

  • 대표어

  • 외국어

-

초록보기

LPCVD로 560℃와 650℃ 온도에서 실리콘 박막을 제작하였다. 온도에 따른 천이온도를 살펴보았으며, 비정질로 제작된 실리콘 박막을 900℃와 1100℃에서 열처리하였다. 제작된 박막에 대해서 XRD, SEM, ellipsometer, Tektak3, Tencor FLX-2320등 그 외 장비를 사용하여, 박막의 결정 방향, 표면 거칠기, 활성화 에너지, 잔류 응력 등을 조사하였다. 본 실험을 통해 560℃에서 비정질로 증착시키고 900℃-1100℃열처리 통해 얻은 다결정실리콘 박막은 처음부터 다결정으로 제작한 박막에 비해 낮은 잔류 응력과 표면 거칠기를 보였다.

LPCVD silicon films were deposited at temperatures between 560℃ and 650℃. Structure, surface roughness, films thickness and residual stress were measured by using XRD, SEM, ellipsometer, Tektak3, Tencor FLX-2320 and other techniques. Polysilicon films of low stress, small surface roughness were obtained when the films are deposited at 560℃ in the amorphous phase and subsequently annealed to make polycrystalline silicon layers at 900℃-1100℃. The silicon films deposited in amorphous phase and crystallized by post thermal treatment showed better mechanical properties.

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
저진공게이지 종합특성 평가장치 개발 홍승수 外著 pp.189-193

MOCVD Copper 박막의 열처리가 Electromigration 특성에 미치는 영향 연구 이원석 外著 pp.194-200

AlGaAs/GaAs HBT 응용을 위한 Pd/Si/Pd/Ti/Au 오믹 접촉 김일호 ;장경욱 pp.201-206

다양한 반도체-유전체 덮개층 조합을 이용한 InGaAs/InGaAsP 양자우물의 무질서화 조재원 外著 pp.207-211

수소 열처리를 이용한 고신뢰성 트렌치 게이트 MOSFET 김상기 外著 pp.212-217

실리콘에 도핑된 붕소의 정량분석에 대한 공동분석연구 김경중 外著 pp.218-224

공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향 황완식 ;최승진 ;이인규 pp.225-229

LiNbO₃강유전체 박막을 이용한 MFS 커패시터의 게이트 전극 변화에 따른 특성 정순원 ;김광호 pp.230-234

다결정 실리콘의 선택적 성장을 이용한 깊은 트랜치 격리기술 박찬우 外著 pp.235-239

전이금속이 도핑된 TiO₂박막의 제조와 특성 규명 :Fe_x_Ti_1-x_O₂ 김용주 pp.240-248

KOH 용액 및 KOH-IPA 혼합용액에 의한 단결정 실리콘의 이방성식각 특성 조남인 ;천인호 pp.249-255

금속 기판 위에 성장한 탄소나노튜브 특성에 관한 연구 김현숙 外著 pp.256-260

참고문헌 (17건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 (Reference title not available) 미소장
2 (Reference title not available) 미소장
3 (Reference title not available) 미소장
4 (Reference title not available) 미소장
5 (Reference title not available) 미소장
6 (Reference title not available) 미소장
7 (Reference title not available) 미소장
8 (Reference title not available) 미소장
9 (Reference title not available) 미소장
10 (Reference title not available) 미소장
11 (Reference title not available) 미소장
12 (Reference title not available) 미소장
13 (Reference title not available) 미소장
14 (Reference title not available) 미소장
15 (Reference title not available) 미소장
16 (Reference title not available) 미소장
17 (Reference title not available) 미소장

추천서가 (다양한 추천 자료를 만나보세요)

권호기사보기

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 기사목차

권호

기사명 원문보기 기사목차
닫기