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Piezoelectric ZnO thin films were for the first time formed on SiO2/Si(100) substrate using 2-step deposition, atomic layer deposition(ALD) and RF magnetron sputtering deposition, for film bulk acoustic resonator(FBAR) applications. The ZnO buffer layer by ALD was deposited using alternating diethyl zinc(DEZn)/H2O exposures and ultrahigh purity argon gas for purging. The ZnO films by 2-step deposition revealed stronger c-axis-preferred orientation and smoother surface than those by the conventional RF sputtering method. The solidly mounted resonator(SMR)-typed FBAR fabricated by using 2-step deposition method revealed higher quality factor of 580 and lower return loss of -17.35 dB. Therefore the 2-step deposition method in this study could be applied to the FBAR device fabrication.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
PLT buffer층의 삽입에 따른 강유전 PZT박막의 특성 향상 임성훈 ;이은선 ;정현우 ;전경아 ;이상렬 pp.105-108

SnO₂ 박막의 산소 빈자리에 관한 연구 정 진 ;최승평 pp.109-115

태양전지 응용을 위한 PC 기판상의 ZnO:Al 박막 특성에 관한 연구 나영일 ;이재형 ;임동건 ;양계준 pp.116-119

ZrO₂ 게이트 절연막 위에 증착된 Mo 게이트 전극의 특성 강영섭 ;안재홍 ;김재영 ;홍신남 pp.120-124

태양전지용 CuInSe₂와 CuGaSe₂ 흡수층의 전자구조해석을 위한 표면 청정기술 개발 김경환 ;최형욱 ;공석현 pp.125-129

Foamex 매질을 이용한 이동통신 단말기용 듀얼밴드 플라스틱 칩 안테나 특성에 관한 연구 이영훈 pp.130-135

MnO₂ 첨가에 따른 저온소결 PCW-PMN-PZT세라믹스의 유전 및 압전특성 정광현 ;이덕출 ;이창배 ;이상호 ;류주현 ;이형규 ;강형원 pp.136-141

Polyoxyalkylene glycol acrylate기 gel polymer electrolyte를 적용한 리튬이온폴리머전지의 전기화학적 특성 김현수 ;김성일 ;나성환 ;문성인 pp.142-147

대기압 저온 플라즈마 처리에 의한 폴리이미드의 친수화 효과 조중희 ;강방권 ;김경수 ;최병규 ;김세훈 ;최원열 pp.148-152

추진장치의 고장진단과 성능특성에 관한 연구 한영재 pp.153-158

FBAR 소자제작을 위한 ZnO 박막 증착 및 특성 신영화 ;권상직 ;김형준 pp.159-163

ALD와 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 FBAR 소자의 ZnO 박막증착 및 특성 신영화 ;권상직 ;윤영수 pp.164-168

열형센서용 니켈 산화막의 형성 및 특성분석 이응안 ;서정환 ;노상수 pp.169-173

수직전기장을 이용한 수평배향 단일갭 반투과형 액정 디스플레이 임영진 ;송제훈 ;이승희 pp.174-179

AC-PDP의 ADS 구동방식에서 어드레스 구간에 기울기파를 사용한 효과에 관한 연구 정봉규 ;김지선 ;권시옥 ;황호정 pp.180-186

기판온도 및 annealing에 따른 ZnGa₂O₄ 형광체 박막의 특성 김용천 ;홍범주 ;권상직 ;이달호 ;김경환 ;박용서 ;최형욱 pp.187-191

참고문헌 (4건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 (2003) “Atomic layer deposited prote- ctive coatings for micro-electromechanical s- ystems”, Sensor and Actuators 미소장
2 (1999) “Atomic lay- ercontrolled growth of transparent conducti- ng ZnO on plastic substrates”, 미소장
3 (1980) “The effect of O2 on reactively sputtered zinc oxide”, 미소장
4 (1997) “Effects of oblique sputtering on micro- structrual modification of ZnO thin films”, 미소장

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