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실리콘 미세 가공을 이용한 열전형 미소유량센서 제작 및 특성 / 이영화 ; 노성철 ; 나필선 ; 김국진 ; 이광철 ; 최용문 ; 박세일 ; 임영언 1

Abstract 1

1. 서론 1

2. 유량센서의 제작 2

3. 센서 성능시험 장치 2

4. 특성 평가 3

5. 결론 4

참고 문헌 4

[저자소개] 5

권호기사

권호기사 목록 테이블로 기사명, 저자명, 페이지, 원문, 기사목차 순으로 되어있습니다.
기사명 저자명 페이지 원문 목차
화학적 성분 분석능력을 가진 원자 현미경의 제작 李東原 pp.1-6

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하부요로계 폐색 진단용 요류음 계측 시스템의 구현 및 평가 정도운 ;조성택 ;전계록 pp.7-15

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자성유체의 자기적 거동특성을 이용한 광 스위치에 관한 연구 최범규 ;오재근 ;김도형 ;송관민 pp.16-21

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실리콘 미세 가공을 이용한 열전형 미소유량센서 제작 및 특성 이영화 ;노성철 ;나필선 ;김국진 ;이광철 ;최용문 ;박세일 ;임영언 pp.22-27

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용량형 지문인식센서를 위한 전하분할 방식 감지회로의 CMOS 구현 남진문 ;이문기 pp.28-32

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바이오센서를 위한 PC 기반의 휴대용 고속 임피던스 분석기 개발 김기련 ;김광년 ;허승덕 ;이승훈 ;최병철 ;김철한 ;전계록 ;정동근 pp.33-41

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The jitter and phase noise caused by 1/f noise of MOSFET in 2.75 GHz CMOS ring oscillator Se Hoon Park pp.42-46

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마이크로믹서에의 응용을 위한 batch type 초음파믹서의 혼합 상태 가시화 許弼宇 ;尹義洙 ;고광식 pp.47-51

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Formation of nickel oxide thin film and analysis of its electrical properties Sang Soo Noh ;Jeong Hwan Seo ;Eung Ahn Lee ;Seon Gil Lee ;Yong Joon Park pp.52-55

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고온용 압저항센서용 크롬산화박막의 특성 서정환 ;노상수 ;이응안 ;정귀상 ;김광호 pp.56-61

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참고문헌 (14건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 (1995.) Multi-parameter detection in fluid flows, 미소장
2 (1995.) Applications of thermal silicon sensors on membranes, 미소장
3 (2003.) "유전체(Si3N4/SiO2/Si3N4) 멤브레인 위에 제작된 크로멜-알루멜 열전 유량센서" , 미소장
4 (2001.) SOI 멤브레인과 트랜서 구조상에 제작된 발열저항체형 마이크로 유량센서의 특성, 미소장
5 (jun.1992.) An integrated mass flow sensor with on-chip CMOS interface circuitry, 미소장
6 (2000.) Wide range semiconductor flow sensors, 미소장
7 Micromachined flow sensors-a review, 미소장
8 (1998.) 가스센서용 마이크로 히터의 발열특성, 미소장
9 (1999.) Novel C-MOS compatible monolithic silicon gas flow sensor with porous silicon thermal isolation, 미소장
10 (1992.) Silicon thermal flow sensors, 미소장
11 (1993.) Micro-liquid flow sensor, 미소장
12 (1995.) 스트레스균형이 이루어진 Si3N4/SiO2/Si3N4 유전체 멤브레인의 제작, 미소장
13 (2004.) EvanohmR 합금 히터를 사용한 크로멜-콘스탄탄 다중접합 열전변환기의 제작 및 특성 , 미소장
14 (1996.) 스트레스균형이 이루어진 멤브레인 및 박막 열전대를 응용한 유체센서, 미소장

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