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This paper presents a novel MEMS condenser microphone with rigid backplate to enhance acoustic characteristics. TheMEMS condenser microphone consists of membrane and backplate chips which are bonded together by gold-tin (Au/Sn)eutectic solder bonding. The membrane chip has 2.5 m?.5 m, 0.5m thick low stress silicon nitride membrane,2mm? m Au/Ni/Cr membrane electrode, and 3m thick Au/Sn layer. The backplate chip has 2 m? mm, 150mthick single crystal silicon rigid backplate, 1.8 m?.8 m backplate electrode, and air gap, which is fabricated by bulkmicromachining and silicon deep reactive ion etching. Slots and 50-60m radius circular acoustic holes to reduce air dampingare also formed in the backplate chip. The fabricated microphone sensitivity is 39.8V/Pa (88 dB re. 1 V/Pa) at 1 kHz and28 V polarization voltage. The microphone shows flat frequency response within 1 dB between 20 Hz and 5 kHz.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
Hot wall epitaxy 방법에 의해 성장된 AgInS₂ 박막의 광전류 온도 의존성 박창선 ;홍광준 ;이상열 ;유상하 ;이봉주 pp.1-6

TiO₂ 광촉매와 UV LED를 이용한 접촉연소식 수소센서 홍대웅 ;한치환 ;한상도 ;곽지혜 ;이상렬 pp.7-10

Hydrazine 법에 의한 CuO 미분말의 합성 및 가스 감응성 평가 김선중 ;이종흔 pp.11-16

지구자기장을 이용한 소구경 탄약 신관용 소형 회전수 계수 센서 윤상희 ;이석우 ;이영호 ;오종수 pp.17-23

호흡 감지를 위한 복부 부착형 전도성 고무소자의 계측특성 김경아 ;김성식 ;조동욱 ;이승직 ;이태수 ;차은종 pp.24-32

의료용 선형가속기의 X-선 분포도 측정을 위한 1차원 광섬유 방사선 센서의 제작 및 성능평가 조동현 ;장경원 ;유욱재 ;이봉수 ;조효성 ;김 신 pp.33-38

가스 크로마토그래피를 부착한 표면탄성파 가스 센서 유범근 ;박용욱 ;강종윤 ;윤석진 ;최두진 ;김진상 pp.39-43

합성제어기를 이용한 혈압 시뮬레이터의 구현 김철한 ;사공 건 ;남기곤 ;전계록 pp.44-51

저비용 네트워크 기반 임베디드 시스템을 위한 시간동기 기술 이동익 pp.52-61

기판접합기술을 이용한 두꺼운 백플레이트와 수직음향구멍을 갖는 정전용량형 마이크로폰의 설계와 제작 권휴상 ;이광철 pp.62-67

고속철도 차량의 제동성능 해석에 대한 실험적 검증 김영국 ;김석원 ;박찬경 ;이성호 ;박태원 pp.68-76

상압건조 나노다공성 실리카 에어로젤에 대한 개질제 효과 김태정 ;오영제 pp.77-83

참고문헌 (13건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 (2005.) “Directivity steering principle for biomimicry silicon microphone”, Transducers 미소장
2 (2005.) A fully-integrated CMOS-MEMS audio microphone, Transducers 미소장
3 (1998) “Micromachinedcondenser microhpone for hearing aid use”, 미소장
4 (1999.) “A high performance MEMS thin-film teflon electret microphone”, Transducers 미소장
5 (2005.) Surface and bulk micromachined dual back-plate condenser microphone, MEMS 미소장
6 (2006.) “A MEMS condenser microphone for consumer applications”, MEMS 미소장
7 (2005.) “콘덴서형 MEMS 음향센서의 제작 및 음향특성”, 미소장
8 (2005.) “도금 진동판을 이용한 초소형 정전용량형 음향센서”, 미소장
9 (2003.) “A new measurement microphone based on MEMS technology”, 미소장
10 (2004.) “New fabrication process for high-performance silicon condenser microphone with monocrystalline silicon diaphragm and backplate”, MEMS 미소장
11 (1995.) Embleton Handbook of Condenser Microphones, AIP Press, New Yor 미소장
12 (1995.) “A new analytical solution for the load-deflection of square membranes”, 미소장
13 (1996.) Br？el & Kj？r A/S, N？rum, Denmark 미소장

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