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A sub-ppm level MEMS gas sensor that can be used for the detection of formaldehyde (HCHO) is presented. It ismicromachining technology. To enhance sensitivity of the MEMS gas sensor with Ni-sed layer was embeded with ZnOsensing material and sensing electrodes. As experimental results, the changed sensor resistance ratio for HCHO gas was9.65 % for 10 ppb, 18.06 % for 100 ppb, and 35.7 % for 1 pm, respectively. In addition, the minimum detection levelof the fabricated MEMS gas sensor was 10 ppb for the HCHO gas. And the measured output voltage was about 0.94 Vfor 10 ppb HCHO gas concentration. The noise level of the fabricated MEMS gas sensor was about 50 mV. The responsewas 184 mW and its operating temperature was 400oC.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
수질내 초미립자와 미생물의 동시 검출을 위한 광학센서기술 손옥재 ;형기우 ;김병섭 ;이종일 pp.157-161

탄소섬유의 게이지 계수 측정 및 센서 응용 김지관 ;박창신 ;이동원 pp.162-167

실내환경 모니터링시스템을 위한 무선 센서네트워크에서의 플러딩 방식의 질의모델 설계 및 구현 이승철 ;정상중 ;이영동 ;정완영 pp.168-177

나노 결정 SnO₂와 백금 박막히터를 이용한 접촉연소식 마이크로 가스센서의 감응특성 연구 한상도 ;홍대웅 ;한치환 ;전일수 pp.178-182

서브 피피엠 레벨 미세기전 가스 센서 고상춘 ;전치훈 ;송현우 ;박선희 pp.183-187

초정밀 온도센서의 저온 영역 교정 장치 개발 양인석 ;송창호 ;강기훈 ;김용규 pp.188-194

실시간 박테리아 감지를 위한 정전용량방식의 MEMS 바이오센서 서혜경 ;임대호 ;임미화 ;김종백 ;신전수 ;김용준 pp.195-202

La_1-x_Sr_x_MO₃(M=Fe, Co, Mn) 물질을 이용한 포름알데히드 가스센서의 제조와 특성 김한지 ;최정범 ;김신도 ;유광수 pp.203-209

보행시 족저압 분포와 척추 측만의 상관관계 연구 박재현 ;장화선 ;정재우 ;노시철 ;최흥호 pp.210-216

BaCl₂ 결정의 섬광특성 도시홍 ; 김정인 ; 김홍주 ; 강희동 ; 김성환 ; 오문영 pp.217-222

동적인 온도 보정 방법에 의한 전기 전도도의 측정 차용대 ;윤길원 pp.223-228

USN과 RFID를 이용한 웹 기반 항암제 관리 시스템 유선국 ;김수정 ;박정진 ;김동근 ;배하석 ;장병철 pp.229-235

An approach for traffic signal control using RFID sensors Gangdo Seo ;Jinho Cho pp.236-244

참고문헌 (9건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 황인성 ; 김선중 ; 김윤성 ; 주병권 ; 이종흔, (2008) 산화주석 나노선을 이용한 VOCs 센서, 센서학회지 미소장
2 신한재 ; 송갑득 ; 이홍진 ; 홍영호 ; 이덕동, (2008) CMOS공정 기반의 저전력 NO 마이크로가스센서의 제작, 센서학회지 미소장
3 K. Kawamura, (2005) Development of a novel hand-held formaldehyde gas sensor for the rapid detection of sick building syndrome, Sensors and Actuator B 미소장
4 B. L. Zhu, (2004) Improvement in gas sensitivity of ZnO thick film to volatile organic compounds (VOCs) by adding TiO₂, Material Letters 미소장
5 K. Kanda, (2005) Development of aWO₃thick-film-based sensor for the detection of VOC, Sensors and Actuators B 미소장
6 P. Ivanov, (2004) Development of high sensitivity ethanol gas sensors based on Pt-doped SnO₂ surfaces, Sensors and Actuator B 미소장
7 J. Amirola, (2005) Micromachined silicon microcantilevers for gas sensing applications with capacitive read -out, Sensors and Actuator B 미소장
8 M. Mascini, (2004) Piezoelectric sensors for dioxins: a biomimetric approach, Biosensors and Bioelectronics 미소장
9 S. Zampolli, (2005) Selectivity enhancement of metal oxide gas sensors using a micromachined gas chromato - graphic column, Sensors and Actuator B 미소장

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