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In this work, the etch characteristics of VO₂ thin films were investigated using inductively coupled plasma (ICP) of Cl₂/Ar gas mixtures. To analyze the plasma characteristics, a quadrupole mass spectrometer (QMS), an optical emission spectroscopy (OES), and a Langmuir probe measuring system were used. The surface reaction of the VO₂ thin films was investigated using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). It was found that an increase in Ar fraction in the Cl₂/Ar plasma at fixed gas pressure, input power, and bias power resulted in increasing VO₂ etch rate which reached a maximum value of 87.6 nm/min at 70-75 % Ar. It was confirmed that the etch rate of the VO2 films was mainly controlled by the ion flux. On the basis of measuring results, we will discuss possible etching mechanism of VO₂ film in the Cl₂/Ar plasma.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
Negative-bias temperature instability 및 hot-carrier injection을 통한 중수소 주입된 게이트 산화막의 신뢰성 분석 이재성 pp.687-694

높은 이동도 특성을 가지는 strained-Si-on-insulator (sSOI) MOSFETs 김관수 ;조원주 pp.695-698

Capacitance-voltage characteristics of MOS capacitors with Ge nanocrystals embedded in HfO₂ gate material Byoungjun Park ;Hye-ryeong Lee ;Kyoungah Cho ;Sangsig Kim pp.699-705

SOI-MOSFET의 고온 동작에 관한 연구 최창용 ;문경숙 ;구상모 pp.706-710

Plasma etch damage가 (100) SOI에 미치는 영향의 C-V 특성 분석 조영득 ;김지홍 ;조대형 ;문병무 ;조원주 ;정홍배 ;구상모 pp.711-714

기판의 왕복 운동을 이용한 인라인 식각세정장치 내 ITO 식각특성 홍성재 ;권상직 ;조의식 pp.715-718

잡음 내성이 큰 단일 출력 레벨 쉬프터를 이용한 500 V 하프브리지 컨버터용 구동 IC 설계 박현일 ;송기남 ;이용안 ;김형우 ;김기현 ;서길수 ;한석붕 pp.719-726

Cl₂/Ar 혼합가스를 이용한 VO₂ 박막의 유도결합 플라즈마 식각 정희성 ;김성일 ;권광호 pp.727-732

Ge-MOSFETs을 위한 Ni-Co 합금을 이용한 Ni-germanide의 열안정성 개선 박기영 ;정순연 ;장잉잉 ;한인식 ;이세광 ;종준 ;신홍식 ;김영철 ;김재준 ;이 pp.733-737

ZnO-Bi₂O₃-Sb₂O₃ 세라믹스의 전기적 특성 홍연우 ;신효순 ;여동훈 ;김종희 ;김진호 pp.738-748

나노층상실리케이트가 충진된 에폭시-나노콤포지트의 열적특성 연구 박재준 pp.749-754

Pb-free 백색유전체에서 필러함량과 소성온도에 따른 유전체 특성 안용태 ;최병현 ;지미정 ;이정민 ;김형순 ;정경원 pp.755-759

633 nm 파장의 LED 광원이 생체 피부에 미치는 영향 천민우 pp.760-764

Thermal evaporation법으로 제작한 ZnO 나노선의 온도와 산소유량에 따른 성장 특성 오원석 ;장건익 pp.766-769

전신 마취 중 심박동변이도와 맥파전달시간 변화의 비교 백승완 ;김태균 ;김재형 ;전계록 ;예수영 pp.770-775

유비쿼터스 헬스 케어 적용을 위한 의자 부착형 무선 심전도 측정 시스템 구현 예수영 ;백승완 ;김지철 ;전계록 pp.776-781

참고문헌 (13건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 Oxides Which Show a Metal-to-Insulator Transition at the Neel Temperature 네이버 미소장
2 Temperature dependence of the first-order metal-insulator transition in VO2 and programmable critical temperature sensor 네이버 미소장
3 Evidence of a pressure-induced metallization process in monoclinic VO2. 네이버 미소장
4 Phase transformation and semiconductor-metal transition in thin films of VO2 deposited by low-pressure metalorganic chemical vapor deposition 네이버 미소장
5 Electrochemistry of conductive polymers 네이버 미소장
6 Summary Abstract: Reactive ion etching of vanadium dioxide thin films 네이버 미소장
7 M.S. Kim, (2008) On the etching mechanism of ZrO2 thin films in inductively coupled BCl3/Ar plasma, Microelecton. Eng 미소장
8 Effect of Plasma on Characteristics of Zirconium Oxide Films Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition 네이버 미소장
9 R. March, (2005) Quadrupole ion trap mass spectrometry, John Wiley & Sons, Inc. 미소장
10 Optical emission spectroscopy of reactive plasmas: A method for correlating emission intensities to reactive particle density 네이버 미소장
11 R. Payling, (2002) Optical Emission Lines of the Elements, John Wiley & Sons Ltd. 미소장
12 J.F. Moulder, (1995) Handbook of X-ray Photoelectron Spectroscopy, Physical Electronics, Inc. 미소장
13 M. Köhler, (1999) Etching in Microsystem Technology, WILEY-VCH 미소장

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