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Bi⁴Ti₃O12 (BiT) thin films were grown on the Pt/Ti/SiO₂/Si substrate using a metal organic decomposition (MOD) method. Effects of oxygen annealing on the structural properties and dielectric properties of the BiT thin films were investigated. The BiT films were well developed when rapid thermal annealed at >500℃ in oxygen ambient. For the film annealed at 700℃, no crystalline phase was observed under oxygen free annealing atmosphere while its crystallinity was significantly enhanced as the oxygen pressure increased. The BiT film also exhibited a smooth surface with defect free grains. A high dielectric constant and a low dielectric loss were achieved satisfactory in the frequency range from 75 kH₂ to 1 MH₂. Especially, the BiT film, annealed at 700℃ and 10 torr oxygen pressure, showed good dielectric properties: dielectric constant of 51 and dielectric loss of 0.2 % at 100 kHz. Its leakage current was also considerably improved, being as 0.62 nA/cm₂ at 1 V. Therefore, it is considered that the oxygen annealing has effects on an enhancement of crystallinity and dielectric properties of the BiT films.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
박막 증착공정을 사용하여 구현된 초소형 RFID 태그 안테나 정태환 ;김정연 ;김병국 ;박승범 ;이석진 ;안상기 ;우덕현 ;권순용 ;임동건 ; pp.285-289

Bi₄Ti₃O_12_ 박막의 구조적 특성과 유전 특성에 미치는 산소 열처리 효과 차유정 ;성태근 ;남 산 ;정영훈 ;이영진 ;백종후 pp.290-296

잉크젯 프린팅 공정에 의한 유전체 후막의 제조 및 특성 장헌우 ;구은회 ;김지훈 ;김효태 ;윤영준 ;황해진 ;김종희 pp.297-302

양단이 고정된 빔형 다결정 3C-SiC 마이크로 공진기의 제작과 그 특성 정귀상 ;이태원 pp.303-306

빔의 입사모드가 금 나노입자의 국소표면플라즈몬 산란광에 미치는 영향 이택성 ;이경석 ;김원목 ;이장교 ;변석주 pp.307-313

다결정 3C-SiC 마이크로 공진기의 온도특성 정귀상 ;이태원 pp.314-317

수소 분위기에서 후열처리한 상온증착 ZnO:Al 박막의 전기적 특성 분석 정윤환 ;진 호 ;김호걸 ;박춘배 pp.318-322

전자수송층이 청색 인광 OLED의 전기 및 광학적 특성에 미치는 영향 서원규 ;문대규 pp.323-326

전자 수송층 BCP의 두께변환에 따른 유기발광소자 효율 개선 김원종 ;신현택 ;홍진웅 pp.327-332

아크이미지, 아크전압과 유한요소해석을 통한 나선형 VI 전극 간의 비틀림 각도에 따른 아크거동분석 김병철 ;박홍태 ;손진우 ;임기조 pp.333-341

탄소나노튜브의 저온성장을 위한 합성가스의 최적화 연구 김영래 ;전홍준 ;이한성 ;곽정춘 ;황호수 ;공병윤 ;이내성 pp.342-349

원격 플라즈마 원자층 증착법을 이용한 Al₂O₃/GaN MIS 구조의 제작 및 전기적 특성 윤형선 ;김현준 ;이우석 ;곽노원 ;김가람 ;김광호 pp.350-354

성장온도의 변화에 따른 MFI Zeolite Membrane의 성장 특성 분석 김덕은 ;고창현 ;오원태 pp.355-359

Cymbal Type 압전 발전기의 발전 특성 전호익 ;정성수 ;정현호 ;박태곤 ;김명호 pp.360-365

통전 중 산불에 노출된 가공송전선의 온도 및 장력 변화 거동 김병걸 ;장용호 ;김상수 ;한세원 pp.366-371

참고문헌 (12건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 High-performance epitaxial Na0.5K0.5NbO3 thin films by magnetron sputtering 네이버 미소장
2 Electromechanical properties of calcium bismuth titanate films: A potential candidate for lead-free thin-film piezoelectrics 네이버 미소장
3 Piezoforce microscopy study of lead-free perovskite Na0.5Bi0.5TiO3 thin films 네이버 미소장
4 Large remanent polarization of (Bi,Nd)4Ti3O12 epitaxial thin films grown by metalorganic chemical vapor deposition 네이버 미소장
5 Na0.5K0.5NbO3 thin films for voltage controlled acoustoelectric device applications 네이버 미소장
6 Ferroelectric and piezoelectric properties of 0.948(K[sub 0.5]Na[sub 0.5])NbO[sub 3]–0.052LiSbO[sub 3] lead-free piezoelectric thick film by aerosol deposition 네이버 미소장
7 Energy harvesting MEMS device based on thin film piezoelectric cantilevers 네이버 미소장
8 Modeling, Fabrication and Performance Measurements of a Piezoelectric Energy Converter for Power Harvesting in Autonomous Microsystems 네이버 미소장
9 Preparation of Highly Oriented Bismuth Titanate Thin Films by Sol-Gel Process 네이버 미소장
10 T.-J. Cho, D.-K. Kang, and B.-H. Kim, "Electrical properties of sol-gel derived ferroelectric Bi3.35Sm0.65Ti3O12 thin films by rapid thermal annealing", Trans. EEM, Vol. 6, p. 51, 2005. 미소장
11 E. I. Speranskaya, I. S. Rez, L. V. Kozlova, V. M. Skorikov, and V. I. Slavov, “Bi2O3-TiO2 system", Inorg. Mater., Vol. 1(2), p. 232, 1965. 미소장
12 Cubic paraelectric (nonferroelectric) perovskite PLT thin films with high permittivity for ULSI DRAMs and decoupling capacitors 네이버 미소장

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