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Nanofabrication is an essential process throughout industry. Technologies that produce general nanofabrication, such as e-beam lithography, dip-pen lithography, DUV lithography, immersion lithography, and laser interference lithography, have drawbacks including complicated processes, low throughput, and high costs, whereas nano-transfer printing (nTP) is inexpensive, simple, and can produce patterns on non-plane substrates and multilayer structures. In general nTP, the coherency of gold-deposited stamps is strengthened by using SAM treatment on substrates, so the gold patterns are transferred from stamps to substrates. However, it is hard to apply to transfer other metallic materials, and the existing nTP process requires a complicated surface treatment. Therefore, it is necessary to simplify the nTP technology to obtain an easy and simple method for fabricating metal patterns. In this paper, asnTP process with poly vinyl alcohol (PVA) mold was proposed without any chemical treatment. At first, a PVA mold was duplicated from the master mold. Then, a Mo layer, with a thickness of 20nm, was deposited on the PVA mold. The Mo deposited PVA mold was put on the Si wafer substrate, and nTP process progressed. After the nTP process, the PVA mold was removed using DI water, and transferred Mo nano patterns were characterized by a Scanning electron micrograph (SEM) and Energy Dispersive spectroscopy (EDS).

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
저온에서 형성된 니켈실리사이드의 적외선 흡수 특성 한정조 ;송오성 ;최용윤 pp.179-185

LaNi_1-x_Ti_x_O₃(x≤0.5) 세라믹스의 전기전도 특성 정우환 pp.186-191

탄소나노 튜브위에 성장된 Pd 및 Pt 나노 입자의 제조 및 특성 김형균 ;이임렬 pp.192-197

초음파 진동자용 MnO₂가 Doping된 PZT-PSN 세라믹스의 구조 및 압전 특성 차유정 ;김창일 ;김경준 ;정영훈 ;이영진 ;이해근 ;백종후 pp.198-202

Phase change characteristics of Sn_x_Se_100-x_ thin films by RF-magnetron sputtering Sang Kyun Kim ;Se-Young Choi pp.203-206

Al-Ti 혼합 분말 슬러리를 이용한 강의 알루미나이징처리 방법 이영기 ;김정열 ;이유기 pp.207-211

건식정제에 의한 견운모광의 품위향상연구 조건준 ;김윤종 ;박현혜 ;조성백 pp.212-219

고체 전해질로서의 LiH₂PO₄결정 이광세 ;조중석 ;김금채 ;전민현 pp.220-223

Poly vinyl alcohol 몰드를 이용한 Nano transfer printing 기술 및 이를 이용한 Mo 나노 패턴 제작 기술 양기연 ;윤경민 ;한강수 ;변경재 ;이 헌 pp.224-227

Febry-Perot 간섭계를 이용한 강유전 P(VDF-TrFE) 폴리머 열광학 특성평가 송현철 ;김진상 ;윤석진 ;정대용 pp.228-231

참고문헌 (8건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

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번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 K. Liu, P. Avouris, J. Bucchignano, R. Martel, S. Sun and J. Michl, Appl. Phys. Lett., 80, 865 (2002). 미소장
2 B. J. Lin, J. Vac. Sci. Technol., 12, 1317 (1975). 미소장
3 R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. Hong and C. A. Mirkin, Science, 283, 661 (1999). 미소장
4 S. H. Hur, D. Y. Khang, C. Kocabas and J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett., 85, 5730 (2004). 미소장
5 A. Ulman, Chem. Rev., 96, 1533 (1996). 미소장
6 C. D. Schaper, Nano Lett., 3, 1305 (2003). 미소장
7 K. S. Han, S. H. Hong and H. Lee, Appl. Phys. Lett., 91, 123118 (2007). 미소장
8 H. Lee and G. Y. Jung, Microelectron. Eng., 77, 168 (2005). 미소장

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