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본 논문에서는 백색광 간섭계(White Light Interferometry, WLI)의 데이터 처리 과정에서 가간섭 영역 외의 배경 잡음성 신호

필터링을 통하여 백색광 주사 간섭계의 성능을 향상시켰다. 광학계의 개구수(Numerical Aperture, NA)가 유한한 백색광 간섭계의

경우, 단차가 크고 표면 굴곡이 심한 시료를 측정하게 되면 유한한 초점심도(Depth Of Focus, DOF)에 의하여 배경 잡음이 발생

하며, 반사가 심한 경면의 경우에는 간섭무늬 신호보다 배경 잡음의 영향을 많이 받게 된다. 따라서 배경 잡음을 제거하기 위하여

간섭무늬 신호 자체 형상에 영향을 주지 않으면서 효율적으로 배경 잡음 필터링이 가능한 전후 구간 평균법을 제시하였다. 전후

구간 평균법은 원 데이터와 그 이동평균과의 차이를 이용하는 방법으로, 고속으로 대략적인 정점의 위치를 파악한 후 정밀도가

높은 가시도 정점 검출 알고리즘으로 처리하여 측정 속도와 정밀도를 높였다. 전후구간 평균법을 이용하여 배경 잡음을 제거한

경우, 제거하지 않은 경우와 비교하여 잡음 화소가 약 1/4로 감소되었다.

In order to enhance the background noise filtering performance of the white light interferometry(WLI), we demonstrate the noise

filtering performance of preprocessing of the measured fringe signals. The WLI was realized through a mirau interferometer which

was equipped with a green LED. When measuring large-height and rough surface objects, the illumination optics are considered

the numerical aperture(NA) and the depth of focus(DOF). In this case, the limited NA of the illumination optics has a considerable

impact on the interference fringe. Therefore, we propose a preprocessing method that uses the intensity difference between the

measured intensity and the moving average intensity. The performance is demonstrated by measuring an array of metal solder

balls fabricated on printed circuit board(PCB). The proposed method reduces the noise pixels by 15 percent.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
광증폭기의 이득과 이득 평탄화를 동시에 자동 제어하는 완전 광학적 방법 최보훈 ;이상수 pp.261-265

전극 구조의 최적화를 통한 저전력 열광학 스위치 설계 최철현 ;공창경 ;이민우 ;성준호 ;이승걸 ;박세근 ;이일항 ;오범환 pp.266-271

가간섭 영역 외의 배경 잡음성 간섭무늬 신호 필터링을 통한 백색광 주사간섭계의 성능 향상 임해동 ;이민우 ;이승걸 ;박세근 ;이일항 ;오범환 pp.272-275

연속 발진 다이오드 레이저로 여기된 수동형 Q-스위치 Nd:YVO₄레이저의 출력 펄스 안정화 안승인 ;박윤배 ;여환섭 ;이준호 ;이강인 ;이종훈 pp.276-280

패턴이 있는 유리기층 위 러빙된 Polyimide의 광학 이방성 미세변화 정밀 측정 김하랑 ;김상열 pp.281-287

투과형 타원법을 이용한 중첩된 광학이방성 막의 유효 광축 및 등가 리타데이션 해석 류장위 ;김상열 pp.288-293

높은 출력의 THz 포토믹서를 위한 네잎클로버 형태의 안테나 우인상 ;Truong Khang Nguyen ;박익모 ;임한조 ;한해욱 ;주 홍 pp.294-300

배면개구형 집광시트의 자체 정렬 특성 박경주 ;김영규 ;최계훈 ;백상훈 ;황성기 ;곽진석 ;이종훈 ;권진혁 ;박이순 pp.301-307

참고문헌 (9건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 J. You and S.-W. Kim, “Optical inspection of complex patterns of microelectronics products,” Manufacturing Technology 57, 505-508 (2008). 미소장
2 G. Kino and S. Chim, “The Mirau correlation microscope,” Appl. Opt. 29, 3775-3783 (1990). 미소장
3 Three-dimensional imaging by sub-Nyquist sampling of white-light interferograms. 네이버 미소장
4 Surface Profiling by Analysis of White-light Interferograms in the Spatial Frequency Domain 네이버 미소장
5 Direct quadratic polynomial fitting for fringe peak detection of white light scanning interferograms 네이버 미소장
6 Fast surface profiler by white-light interferometry by use of a new algorithm based on sampling theory. 네이버 미소장
7 K. W. Ko, K. C. Ko, and J. H. Kim, “Pole height inspection on LCD glass via high speed whith light interferometry,” J. of the KSPE 24, 21-28 (2007). 미소장
8 Efficient nonlinear algorithm for envelope detection in white light interferometry 네이버 미소장
9 An algorithm for profilometry by white-light phase-shifting interferometry 네이버 미소장

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