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In this work, we investigated the static characteristics of 4H-SiC vertical metal-oxidesemiconductor field effect transistors (VMOSFETs) by adjusting the doping level of n-epilayer and the effect of a current spreading layer (CSL), which was inserted below the p-base region with highly doped n+ state (5 x 1017 cm-3). The structure of SiC VMOSFET was designed by using a 2-dimensional device simulator (ATLAS, Silvaco Inc.). By varying the n-epilayer doping concentration from 1?016 cm-3 to 1?017 cm-3, we investigated the static characteristics of SiC VMOSFETs such as blocking voltages and on-resistances. We found that CSL helps distribute the electron flow more uniformly, minimizing current crowding at the top of the drift region and reducing the drift layer resistance. For that reason, silicon carbide VMOSFET structures of highly intensified blocking voltages with good figures of merit can be achieved by adjusting CSL and doping level of n-epilayer.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
Cl₂/BCl₃/Ar 플라즈마에서 반응성 이온들에 의해 식각된 ZnO 박막 표면 연구 우종창 ;김창일 pp.747-751

유도결합플라즈마를 이용한 O₂/BCl₃/Ar가스에 따른 Indium Tin Oxide 박막의 식각 특성 연구 위재형 ;우종창 ;김창일 pp.752-758

RF-Magnetron Sputtering 방법을 이용해 질소분압비에 따른 금속 PCB용 AlN 절연막의 특성 김화민 ;박정식 ;김동영 ;배강 ;손선영 pp.759-762

Cr- 및 Ni- 소스/드레인 쇼트키 박막 트랜지스터의 장벽 특성에 대한 실험 및 모델링 연구 정지철 ;문경숙 ;구상모 pp.763-766

Current Spreading Layer와 에피 영역 도핑 농도에 따른 4H-SiC Vertical MOSFET 항복 전압 최적화 안정준 ;문경숙 ;구상모 pp.767-770

NKN-(1-x)BNT-xBT 세라믹스의 압전 및 유전특성 이승환 ;남성필 ;이성갑 ;이영희 pp.771-775

저온에서 증착한 CdSe막의 구조적 및 전기적 특성 박기철 ;마대영 pp.776-781

실란 바인더에 의한 탄소나노튜브 박막의 감습 특성 변화 김성진 pp.782-787

철심과 권선을 이용한 전류제한기에 적용시킨 안정화층이 다른 YBCO Coated Conductor의 전류제한 특성에 관한 연구 이동혁 ;두호익 ;김용진 ;한병성 ;임성우 ;한상철 ;이정필 pp.788-792

광대역 접지임피던스 측정기의 설계 및 제작 길경석 ;박대원 ;장운용 ;한주섭 ;길형준 pp.793-797

전력용변압기에서 UHF 부분방전 신호의 전파 특성 윤진열 ;한기선 ;주형준 ;구선근 pp.798-803

362 kV GIB 내에서 건조공기의 절연파괴 특성 한기선 ;주형준 ;윤진열 ;유홍근 pp.804-808

전자기파 부분방전 신호의 권선 투과 특성 주형준 ;한기선 ;윤진열 pp.809-813

NaCl 전해질 농도 변화에 따른 다공질 탄소전극의 전기적 특성 김용혁 pp.814-819

류마티스 관절염 환자의 무릎 MR 영상 개선을 위한 변형된 Fermi 필터 설계 김동현 ;예수영 pp.820-825

(The)Effect of scattering dose on the thyroid during mammography Mi-Hwa Lee ;Kyung-Rae Dong ;Seo-Joo Park ;Sun-Kwang Whang pp.826-830

참고문헌 (5건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 A. Saha and J. A. Cooper, IEEE Trans. Electron. Devices. 54, 2786 (2007). 미소장
2 M. Martin, A. Saha, and J. A. Cooper, IEEE Trans. Electron. Devices 51, 1721 (2004). 미소장
3 M. Abe, H. Nagasawa, P. Ericsson, H. Strömberg, M. Bakowski, and A. Schöner, Microelectron. Eng. 24-26, 83 (2006). 미소장
4 H. Ye, C. W. Lee, J. Raynolds, P. Haldar, M. J. Hennessy, and E. K. Mueller, Cryogenics 243–251, 47 (2007). 미소장
5 ATLAS Manual, SILVACO INTERNATION AL, 1-898 (2007). 미소장

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