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In this study, micro gas sensors for ammonia gas were prepared by adopting MEMS technology

and using a sol-gel process. Three types of sensors were prepared via different synthesis routes starting with

W sol and Ru sol mixture. This mixture was deposited on a MEMS platform and the platform was subsegueny

heated to a temperature of 350℃. The topography and crystal structure of the sensing film were studied using

FE-SEM and XRD. The response of the gas sensor to NH_3 gas was examined at various operating

temperatures and gas concentrations. The sensor response increased almost linearly with gas concentration

and the best sensing response was obtained at 333℃ for 5.0 ppm NH_3 for the specimen prepared by coating

WO_3 powders with the Ru sol mixture.

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
냉각 압연 방향에 따른 Zr-1.1Nb-0.05Cu 합금의 크리프 거동 설용남 ,정양일 ,최병권 ,박정용 ,홍순익 pp.355-361

Influence of calcium on the formation of aluminosilicate inorganic polymer binder Sangwook Ahn ,Youngkue Choi ,Byeongkil Shin ,Jungwoo Lee ,Heesoo Lee ,Kwunnam Hui pp.362-366

균일침전법을 이용한 아나타제형 TiO₂분말의 제조 및 특성 평가 최순옥 ,조지희 ,임성환 ,정은영 pp.367-373

기계적 합성된 분말로부터 펄스전류활성 소결에 의한 나노구조 Ti₃Al-Al₂O₃복합재료 제조 및 기계적 특성 손인진, 왕희지, 서창열, 조성욱, 김원백 pp.374-379

와이어 브러싱한 알루미늄 판재 표면 및 압연접합 계면의 미세조직 및 기계적 성질 김수현 ,김형욱 ,강주희 ,어광준 pp.380-387

3차원 Si칩 실장을 위한 경사벽 TSV의 Cu 고속 충전 김인락 ,홍성철 ,정재필 pp.388-394

루테늄이 첨가된 텅스텐 산화물을 이용한 마이크로 가스 센서의 암모니아 가스 감지 특성 이회중 ,윤진호 ,김범준 ,장현덕 ,김정식 pp.395-399

전기화학적 방법에 의한 산화아연 나노튜브의 합성과 형성 기구 문진영 ,김형훈 ,이호성 pp.400-405

전착 시간에 따른 ZnO 나노막대의 미세조직 변화와 광학적 성질 정윤숙 ,문진영 ,김형훈 ,이호성 pp.406-410

플립칩 패키징용 Sn-0.7Cu 전해도금 초미세 솔더 범프의 제조와 특성 노명훈 ,이희열 ,김원중 ,정재필 pp.411-418

구리 집전판에 직접 합성한 탄소나노튜브의 전기이중층 커패시터 특성 정동원 ,이창수 ,박순 ,오은석 pp.419-424

참고문헌 (15건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 Y. H. Kim, Gijeon 5 (1993). 미소장
2 J. G. Irwin and Williams, Environ. Pollut 50, 29 (1998). 미소장
3 P. J. Adams, J. Geo-phys. res. Atmos 106, 1097 (2001). 미소장
4 T. Maekawa, J. Tamaki, N. Miura, and N. Yamazoe, Chem. lett. 639 (1992). 미소장
5 G. Heiland and D. Kohl, Chem. Sen. Tech. 1, 15 (1988). 미소장
6 C. S. Kim, R. J. Lad, and C. P. Tripp, Sens. Actuators B, 76, 442 (2001). 미소장
7 S. W. Oh, Y. H. Kim, D. J. Yoo, S. M. Oh, and S. J. Park, Sens. Actuators B 13, 400 (1993). 미소장
8 P. J. Shaver, Appl. Phys. Lett. 11, 255 (1967). 미소장
9 J. H. Yoon and J. S. Kim, Met. Mater. Int. 16, 773 (2010) 미소장
10 T. Seiyama, Anal Chem 34, 1502 (1962). 미소장
11 M. S. Wagh, G. H. Jain, D. R. Patil, S. A. Patil, and L. A. Patil, Sens. Actuators B 115, 128 (2006). 미소장
12 M. J. Madou and S. R. Morrison, Adam Hilger, Bristol 6, 124 (1989). 미소장
13 N. Barsan, D. Koziej, and U. Weimar, Sens. Actuators B 121, 18 (2007). 미소장
14 H. K. Hong, B. H. Kim, Y. I. Cheon, and Y. K. Sung, J. IEEK 13, 372 (1990). 미소장
15 S. G. Lee, S. D. Choi, and K. H. Kim, KIEEME 3, 224 (1990). 미소장

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