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한국표준과학연구원(Korea Research Institute of Standards and Science, KRISS)에는 초음파간섭 수은주압력계(ultrasonic interferometer manometer, UIM), 정적형표준기(static volume expansion system, SVES), 오리피스형 정압표준기(orifice-type dynamic expansion system, ODES) 등 세 개의 주요한 국가 진공표준기가 있다. 이 장치들의 불확도 평가를 위해 각각 변수들의 측정 및 계산 모델을 개발하였다. 국제표준화기구(International Organization for Standardization, ISO) 지침에 따라 표준기들의 확장불확도(expanded uncertainty, U)를 계산하였다.

The Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS) has three major vacuum systems: an ultrasonic interferometer manometer (UIM), a static volume expansion system (SVES), and an orifice-type dynamic expansion system (ODES). For each system explict measurement model equations with multiple variables are respectively given. According to ISO standards, all these system variables errors were used to calculate the expanded uncertainty (U).

권호기사

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기사명 저자명 페이지 원문 목차
진공측정표준의 불확도 평가모델 개발 홍승수, 임종연, 신용현 pp.313-321

Capacitively Coupled Plasma Source를 이용한 Etcher의 상부 전극 온도 변화에 따른 Etch 특성 변화 개선 신한수, 노용한, 이내응 pp.322-326

유기박막트랜지스터 응용을 위해 플라즈마 중합된 Styrene 게이트 절연박막 황명환, 손영도, 우인성, 바산바트호약, 임재성, 신백균 pp.327-332

비정질 탄소박막의 트라이볼로지 특성에 미치는 플라즈마 밀도의 영향 박용섭, 이종덕, 홍병유 pp.333-338

Ti/Au 금속과 n-type ZnO 박막의 Ohmic 접합 연구 이경수, 서주영, 송후영, 김은규 pp.339-344

MHEMT 소자의 DC/RF 특성에 대한 시뮬레이션 연구 손명식 pp.345-355

Effect of the Cu bottom layer on the optical and electrical properties of In₂O₃/Cu thin films Daeil Kim pp.356-360

분광 반사법을 이용한 GaN 박막의 실시간 관찰 나현석 pp.361-366

동시계수 양전자 소멸 측정에 의한 양성자 조사된 Si 구조 특성 이권희, 이종용 pp.367-373

Effect of injection stage of SF_6_ gas incorporation on the limitation of carbon coils geometries Sung-Hoon Kim pp.374-380

ZnO/SiO₂가지형 나노계층구조의 제작 및 광학적 특성 연구 고영환, 김명섭, 유재수 pp.381-386

참고문헌 (14건) : 자료제공( 네이버학술정보 )

참고문헌 목록에 대한 테이블로 번호, 참고문헌, 국회도서관 소장유무로 구성되어 있습니다.
번호 참고문헌 국회도서관 소장유무
1 S. S. Hong, Y. H. Shin, and K. H. Chung, J. Korean Vacuum Soc. 5, 181 (1996). 미소장
2 P. L. M. Heydemann, C. R. Tilford, and R. W. Hyland, J. Vac. Sci. Technol. 14, 587 (1977). 미소장
3 Applied optics. 네이버 미소장
4 P. L. M. Heydemann, C. R. Tilford, and R. W. Hyland, J. Vac. Sci. Technol. 14, 599 (1977). 미소장
5 S. S. Hong, Y. H. Shin, K. H. Chung, I. T. Lim, S. Y. Woo, and S. C. Choi, J. Korean Vacuum Soc. 10, 173 (2001). 미소장
6 Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement. ISO 11 (1993). 미소장
7 K. Jousten, Vacuum 45, 1205 (1994). 미소장
8 K. W. T. Elliott and P. B. Clapham, NPL Mon. 28, 1 (1978). 미소장
9 S. S. Hong, Y. H. Shin, K. H. Chung, and I. Arakawa, Metrologia 42, 1 (2005). 미소장
10 D. E. Weaver, J. Vac. Sci. Technol. A4, 338 (1986). 미소장
11 J. Y. Lim and K. H. Chung, Vacuum 42, 979 (1991). 미소장
12 K. H. Chung, S. S. Hong, Y. H. Shin, J. Y. Lim, S. K. Lee, and S. Y. Woo, Metrologia 36, 675 (1999). 미소장
13 K. H. Chung and S. S. Hong, IMEKO XIII, Pro XIII IMEKO World Con. Torino 5-9 Sep. 3, 1951 (1994). 미소장
14 S. S. Hong, I. T. Lim, Y. H. Shin, K. H. Chung, and I. Arakawa, J. Korean Vacuum Soc. 12, 151 (2003). 미소장

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